ITO 후막의 전기전도도 및 투과도 측정

소개

ITO 후막의 전기전도도 및 투과도 측정

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본문내용

Part 9. ITO 후막의 전기전도도 및 투과도 측정
A. 실험목적
현재 디스플레이 부품소자에서 가장 많이 사용되어지고 있는 ITO박막의 면저항과 투과도를 측정하여 두께변화에 따른 면저항과 투과도가 어떻게 변하는지 비교해 보고자 한다.

B. 이론적 배경
(1)투명전극
투명전극재료는 평판디스플레이, 및 태양전지 등의 소자에서 투명전극으로 사용되고 있는 물질을 통칭한다. 투명전극재료라고 불릴려면 우선 가시광영역(400nm~700nm)에서 80%정도의 광투과도를 가지며 ~103/Ω·cm의 높은 전기전도도를 가지는 재료여야 한다.

(2)투명전극의 종류
①ITO
ITO 투명전도막은 공통전극(common electrode)과 화소전극(pixer electrode)에 쓰이고 있다. 차세대 디스플레이로서 주목받고 있는 OLED(Organic Light Emitting Display)의 양극(anode) 물질로서 사용되는 물질 또한 ITO 투명전도막이다. ITO는 Indium-Tin Oxide의 약자로 In2O3(인듐산화물)와 SnO2(주석산화물)의 화합물로서, 유리기판 위에 코팅하면 색깔이 투명하고 전도성을 띄어 TNㆍSTN 평판 디스플레이 제품 구동을 위한 투명전극 기능으로 사용되고 있다.

참고자료

· 디스플레이 및 세라믹재료실험(2009, 디스플레이 신소재공학과, 이경호 교수님)
· 위키백과
· FPD 공정의 박막 특성 측정 기술 (2) (전자현미경과 나노측정기술) |작성자 정석균
· 네이버 백과사전