진공의_기초_최종

소개

진공자료

목차

Chapter 1
Basic Principle of Vacuum

Chapter 2
Vacuum Pump

Chapter 3
Gauge

Chapter 4
Materials & Hardware

Chapter 5
Vacuum System

Chapter 6
Leak Detection

본문내용

진공 (Vacuum)
진공은 압력으로 표현한다
1기압 : 지구표면에서 하늘까지 쌓여있는
공기기둥의 무게가 땅바닥에 전해
주는 압력 = 1.013X105 N/m2 = 10130 Pascal = 101.3hpascal= 1013mbar
사람은 공기의 바다 밑 바닥에 사는 넙치
1기압에 해당하는 물기둥의 높이?
(물 밀도 = 1 g/cc = 103kg/m3 )
1ATM = ρ g h = (103kg/m3 )(9.8m/s2)h
= 1.013 x 105 Pascal
1기압에 해당하는 수은기둥의높이?
Hg(수은) 의 밀도는 물의 약 13배
1기압을 만드는 기둥의 높이 = 760mm
1기압 = 760mmHg = 760 Torr
1micron = 1micrometer Hg =1/1000 torr
진공의 힘
진공청소기로 13pd 짜리 볼링공을 들수있나?
(저기압)
진공청소기의 압력은 약 700 Torr
즉, 볼링공을 들어올릴 수 있다!!
13pd
≒6kg
1기압
1기압
P기압
면적
100cm2
진공의 영역
Mean free path (λ)
공기 입자들이 부딪히는 정도
Ex) 1 mTorr 일 경우 λ≒5cm
10-5 Torr 일 경우 λ≒5mm
진공의 영역

<중 략>

MFC
10sccm
Pumping
Chamber
base pressure
Ar gas
2. Use MFC
MFC
0sccm
Pumping
Chamber
base pressure
Ar gas
Conductance Formulae
1. In the viscous flow region
D : diameter , L : length of the tube (cm)
2. In the molecular-flow region
Independent of pressure
of tube of circular cross section (air at 20℃)
Useful for determining the dimesnions of roughing and forepump lines.
Useful in determining the dimesnions of a high-vacuum chamber and the size of the tube leading from the chamber to a high-vacuum pump.
ulations
Valves
of Throttle Valves
23
24
압력평형형: 입구와 출구가 한 쌍씩 서로 마주보며 설치되어 있으므로 흡입압려과 송출압력의 차이로 인한 불평형력을 해소할 수 있다.
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가변용량형 : 최대 송출유량을 조절할 수 있는 펌프로서, 왼쪽의 나사를 돌려 캠을 편심시키는 정도에 따라 송출유량이 조절 되는 펌프이다.

참고자료

· 없음