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[전자공학] IC(집적회로) 이야기

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최초등록일 2002.06.11 최종저작일 2002.06
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[전자공학] IC(집적회로) 이야기
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    목차

    ⊙ 반도체 소자 만들기. ⊙
    3. 대역정제과정(다결정을 만들기 위한.)
    ① zone-refining 란?
    ② zone-refining 방법?
    4. 단결정 얻기(Czochralski 방법.)
    ① 초크랄스키법 ?

    ⊙ 집적회로 ⊙
    1. what ... IC?
    ① Hybrid IC
    ② 모놀리식 IC? (개별 능동소자)
    2. why ... IC?
    3. IC ... history?
    4. IC 제작공정 (실리콘 CMOS)

    ⊙ 반도체 집적회로 기술의 현재와 미래 ⊙

    ⊙ Reference... ⊙

    본문내용

    3. 대역정제과정(다결정을 만들기 위한.)
    ① zone-refining 란?
    : 고체의 일부에 용융영역을 만든다. 띠정제라고도 한다. 보통 두 성분 이상으로 된 금속의 융액을 냉각하여 응고시키면, 최초로 나오는 고체의 조성은 본래의 융액과 전혀 다르고, 어느 한쪽의 성분으로 편향하게 된다. 따라서 융액 전체를 한 번에 응고시키지 않고 한쪽 끝에서부터 굳어지게 하면, 최초의 고체 부분에서 적어지는 성분원소는 융액 쪽으로 쫓기게 된다. 이 원리에 따라서 봉(棒) 모양으로 된 고체의 일부를 고주파 코일에 의한 국부유도가열(局部誘導加熱)로 용해시키는 장치를 만들어, 봉의 한쪽 끝에서 이 용해된 영역, 즉 존을 이동함으로써 다른 쪽 끝까지 움직여, 불순물을 훑어서 정제할 수 있다. 존정제를 해야 하는 것은 매우 높은 순도로 해야 하는 재료이므로, 실리카관 속은 고도의 진공으로 하거나 비활성기체를 가득 채운다. 수직식은 용해한 재료가 도가니에 닿아 이것과 반응해서 불순물을 흡입할 염려는 적으나 기술적으로는 어려워진다. 공업적으로 이 방법으로 정제하는 것은 반도체재료로서 게르마늄은 수평식, 실리콘은 수직식으로 정제한다. 이 방법으로 99.999999 %의 순도를 얻을 수 있다

    참고자료

    · ☞ Electronic Devices and Circuit Theory (7th Edition) / Robert L. Boylestad, Louis Nashelsky / Prentice Hall
    · ☞ http://www.encyber.com/ 두산세계대백과사전.
    · ☞ CMOS 설계 기초 / 신형철 교수(KAIST 전기 및 전자공학과) / 반도체 설계 교육센터 편 , 1999. 3.
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