xps (x-선 광전자 분광법) 기기분석과 측정법 이론및 정의

소개

XPS 기기분석과 원리에 대한 이론과 정의 그리고 측정법을 비롯한 구성요소

목차

XPS란
원리
이론
장 치

본문내용

XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) 초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성 X-ray를 조사해 시료내의 전자를 밖으로 튀어나오게 하는것 이며 그 전자의 운동에너지와 강도를 측정하는 것에 의해 물질 내에 있는 고유의 전자 결합에너지, 전자의 에너지 준위와 양을 아는 방법이다
XPS는 soft X-rays (AlKα or MgKα)를 사용하여 운동에너지를 검출함으로써 그 전자의 결합에너지를 얻을 수 있고, 결합에너지는 원소마다 특정한 값을 가지고 있어서 그 시료의 구성성분을 알 수 있다
또한, 전자의 방출 시에 주위 환경(다른 원자와의 결합이나 결합의 형태 등)에 따라 약간씩의 결합에너지의 움직임이 존재하며 이것으로 화학결합의 형태를 알 수 있다.

그리고, XRD의 경우는 구조 분석용으로 같은 x 선을 사용하지만 이 x 선이 원자들의 규칙적인 배열에 의해 Bragg`s Law를 만족시키는 특정 입사각에서 peak를 나타내는 것을 이용하여 그 재료의 결정성 유무, 결정 방향이나 격자 상수 등을 구할 수 있다.

또한 수소와 헬륨원소를 제외하고는 상당히 정확히 측정할 수 있으며 일반적으로 대부분의 원소들은 0.02 - 0.2% a/a의 실제적인 분해능내에서 탐지가 가능한데, 이는 monolayer 의 1 - 10%에 해당된다 그리고 원자로부터 방출된 광전자의 에너지는 화학결합의 결과 원자들이 가지고 있는 하전가도 어느정도 결정할 수 있다.

참고자료

· 없음