SEM

소개

SEM에 관한 장담점 분석 원리 기능적인 요소

기기에 필요한 시료제작법 응용법 등이 있습니다

많은 양의 사진자료 보유

목차

SEM

원리 구성

전자총

전자광학계

진공계

전자회로계

렌즈

SEM의 영상 형성 과정

시료 제작법

응용

장단점

본문내용

주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이는 현미경으로서 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 복잡한 표면구조나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다
2차 전자검출기와 반사전자 또는 X선 검출기를 장착하여 동시에 여러 종류의 정보를 얻을 수 있으,며 특수하게 만들어진 1대 또는 2대의 2차전자 검출기, 혹은 반사전자검출기로 얻은 신호를 PC 처리하여 시료의 깊이 방항을 포함한 3차원 정보를 얻을수 있다.

주사전자현미경의 원리 와 구성
전자 현미경은 일반 광학 현미경과는 달리 전자원이 일반 빛을 광원으로 하지 않고, 인위적으로 발생시킨 전자를 광원으로 하고 있다 전자총에서 발생된 전자가 시료에 주사되어 발생하는 다양한 2차 전자의 영상을 그림으로 보여준 것이며 먼저 시료에 주사된 전자(1차 전자)가 시료의 정보를 갖고 나오는 전자) 위치를 알 수 있다

SEM은 컬럼부는 전자빔을 발생 및 가속시키는 전자총(electron gun), 전자빔을 가늘게 모아주는 집속렌즈와 대물렌즈, 필라멘트를 떠난 전자가 시편에 닿을 때까지 전자빔의 경로를 조절하는 주사코일(deflection coil)로 구성되어 있다.
컬럼 아래쪽의 진공 경통 안에는 시편을 이동시키는 시료 stage가 위치하고, 경통에는 이차전자 검출기 등 다양한 검출기를 부착할 수 있다. 장비의 하단부는 진공 챔버를 10-5 torr 이하로 유지해주는 진공펌프, 전자총과 검출기 등에 고전압을 공급하는 고전압 공급장치, 전체 시스템을 제어하거나 수집된 신호를 처리하는 Electronics, 외부에서 장비에 전달되는 진동을 차단하는 제진대 등으로 구성된다.

1) 전자총
전자선은 전자총부의 원통내의 음극을 가열하여 발생한 전자가 양극으로 가속된다. 0.5～30kV로 가속되어진 전자선은 콘덴서 렌즈와 대물랜즈의 전자 렌즈의 작용으로 3～100nm까지 미세해져 조사 된다.

참고자료

· 인터넷을 통한 논문