PR코팅 리포트

소개

디스플레이 공학 PR코팅 실험에 대한 리포트입니다.

목차

1. 실험 일시
2. 실험 제목
3. 실험자
4. 실험 목적
5. 실험 원리
6. 실험 기구 및 장치
7. 실험 방법
※ 주의사항

본문내용

4. 실험 목적 :
1) LCD cell의 기판이 되는 ITO glass를 cutting하고 세정, 건조하여 cell 제작 공정에 대해 알아본다.
2) ITO glass 위에 MASK 상의 패턴을 전송할 수 있다.

5. 실험 원리 :
1) ITO
ITO는 Indium-Tin Oxide(산화인듐주석)로 전기전도가 우수하면서 Band-gap이 2.5eV이상으로 가시광역에서 투명하기 때문에 디스플레이의 투명전극에서 많이 쓰입니다. 다른 투명전극 재료에 비해 전극 패턴 가공성이 우수하고, 화학적 열적 안정성이 뛰어나며 Coating시 막 저항이 낮습니다.
2) ITO glass
유리기판 위에 ITO 타겟을 물리적으로 진공 증착하여 유리기판에 얇은 막이 형성된 유리를 말한다. 이러한 ITO 코팅유리는 전기가 흐르는 특성과 함께 높은 투명성이 우수하여 핸드폰, 전자계산기 등 화면표시장치의 주 소재로 사용되어진다. 일상생활의 필수품이 된 핸드폰의 액정화면을 통해 문자를 읽고 동영상을 다운 받을 수 있는 것은 LCD액정 유리의 표면에 입히는 투명 전도막 코팅기술 덕분이다.
3) PR 코팅

PR은 Photo Resist의 약자로 설계된 cell pattern 을 ITO glass 위에 전사할 때 빛의 조사 여부에 따라 달리 감응함으로써 패턴을 형성할 수 있도록 해주는 재료이다. PR은 크게 두 가지로 나뉘는 데 빛을 조사받은 부분이 현상할 때 녹아나가는 양성감광막, 그리고 빛을 조사받은 부분이 오히려 남게 되는 음성감광막으로 나뉜다.
PR 코팅의 방법은 spin coat법과 roll coat법이 있다. spin법은 기판 위에 PR 을 적당히 흘려 놓고 기판을 고속으로 회전시킴으로써 photo resist를 기판 전체에 고루 퍼지게 하는 방법이다. 이 방법은 막 두께 편차가 1% 이내로 균일성이 뛰어나지만 생산성은 열악하다. 각형 기판을 이용하기 때문에 주변부의 막 두께 불균일, photo resist가 다시 튀어나오는 등이 문제가 되고 이를 위해 장치 상에서 여러 가지가 고안되어져 있다. roll coat법은 roll위에 전개한 photo resist를 기판에 전사하여 가는 방법이며 막 두께가 약 10% 정도의 편차가 있으나 생산성이 뛰어나기 때문에 치수 정도가 그다지 엄격하지 않은 단순 matrix LCD의 투명전극 pattern 형성에 사용되고 있다.

참고자료

· 없음