ITO Glass에 대한 소개와 쓰임

소개

ITO Glass 소개
제조 원리, 제조법
활용처
제조기업

목차

ITO <인듐 틴 옥사이드>이란?
ITO 필름의 제조
Sputtering 법
NSIB(Negative Sputtering Ion Beam)
Electron Beam Evaporation
ITO glass 란?
ITO Glass의 기술 현황
ITO Glass의 생산 공정
ITO Glass 의 발전 방향
ITO Glass 제조 기업
ITO Glass와 IPhone의 터치스크린

본문내용

ITO <인듐 틴 옥사이드>이란?
● 일반적으로 산화인듐(In2O3) 90wt%와 산화주석(SnO2) 10wt%로 이루어진 고용체.
● 얇은 층일때는 무색에 투명성을 갖지만 벌크형태일 때는 누르스름하거나 잿빛을 띈다.
● 스펙트럼의 적외선 영역에서는 거울 같은 금속형태이다.
● 전기 전도가 우수하면서 Band-gap이 약 4.3eV으로 work function이 크고, 가시광선영역의 빛의 투과성이 좋고, 전기 전도도가 높으며, pattern하기가 쉽기 때문에 평판 디스플레이 제작에 쓰이기 용이하다.(ITO가 투명한 이유는 산화물 세라믹이어서 Band-gap이 크기 때문)
● ITO는 매트릭스 방식으로 구동되는 PDP, LCD등의 얇고 평평한 디스플레이에서 투명전극으로 사용된다. 매트릭스 구동방식은 기본적으로 다수의 가로 전극과 다수의 세로 전극을 모기장처럼 배치하고 가로 몇 번째 세로 몇 번째 전극에 신호를 주어 그 위치의 셀이 발광하도록 하는 원리인데, 이 전극들이 불투명하면 전극 사이에서 발생하는 빛이 전극에 가려져 잘 보이지 않게 되므로 투명한 전극이 필요하다.
● ITO는 주 원료 In에 의한 재료비의 상승 In의 확산으로 인한 소자열화 수소 Plasama 하에서의 In Sn의 높은 환원성 그에 따라 수반되는 소자의 불안전성 등의 문제점을 가진다. 이러한 문제점을 보완할 수 있는 새로운 물질의 개발이 요구되었고 다양한 재료의 개발이 이루어져 왔다.

● ITO는 가장 널리 이용되는 산화투명전극중 하나
● 전기전도와 투명성 두 가지를 모두 갖추고 있다.
● 증착 과정중 전도성을 높이면 투명성이 떨어지고 투명성을 높이면 전도성이 떨어진다.

ITO 필름의 제조
● ITO 필름은 거의 대부분 PVD, 전자빔 진공증착 또는 스퍼터링법으로 표면에 흡착시켜 만든다.
● 박막을 형성시키는 방법에는 크게 PVD(Physical Vapor Deposition)법과 CVD(Chemical Vapor Deposition)법이 있는데, 특히 PVD법은 증착, 스퍼터링, 이온플레이팅법으로 나누어지며 증착에는 저항열, 아크방전, 전자빔, 레이저 등을 이용하는 방법들이 있다.

참고자료

· 없음