Vacuum pump(진공펌프) 와 gauge

소개

Vacuum pump(진공펌프)의 종류와 특징 그리고 원리에 대해 설명하였고,
gauge의 종류와 원리에 대해 설명하였다.

목차

◎진공 펌프 (Vacuum pump)
1. 진공이란?
2. 진공 펌프의 응용과 목적
3. 진공 상태로 얻어지는 효과
4. 작동 압력과 작동원리에 따른 펌프의 종류
5. 진공 PUMP의 종류와 원리

◎게이지 (Gauge)

본문내용

(5). 터보 분자 펌프(Turbo molecular pump)
이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 회전자와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.
터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰이고 있다. 그러나 중.저진공 영역에서는 배기량이 저하되므로 로타리 베인 펌프 등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적.




터보분자 펌프들은 매우 청결한 기계적 압축 펌프들이다. 터보 펌프는 기체 분자들의 운동량과 방향을 제시하여 고속 회전 표면을 이용함으로써 배기하고, 부드럽게 작동하며 시스템 작동에 있어 거의 진동이 없고, 트랩 사용없이 더 적은 압력에 도달할수 있는 순수 기계적 진공 펌프이다.
정확하게 작동될 때, 터보펌프는 매우 확실하고 깨끗하며, 1torr처럼 높은 압력부터 이하 까지 동작할 수 있기 때문에 터보들은 매우 다양하게 응용된다. 터보 펌프들은 탄화수소가 없는 진공에서 배기 속도의 빠른 진행과 깨끗한 이점을 제공하며, 탄화수소 분위기에 대해 불리한 응용을 갖는 MBE, 표면분석 장비등을 제외하고는 모두에 대해 이상적이다.
확산 펌프처럼 터보 펌프도 대기로 직접 가스를 배출할 수 없다. 일반적으로 오일 회전 펌프에 의해 보조되지만, 터보펌프는 경우에 따라서 드라이 진공 펌프를 포함한 다른 펌프에 의해 보조된다.

[구성]

터보펌프는 주로 회전판과 고정된 원반들로 구성된다. 이것을 각각 로터와 스테이터로 불리원진다. 로터 원반들은 스테이터 원반들과 교대로 배열된다. 각원반위에 날개들이 있다. 원반은 20에 서 60개의 날개들을 가진다. 원반위 날개 수와 날개 길이, 폭, 공간 그리고 회전속도가 기체의 배기능력을 결정한다.
각 로터와 스테이터 원반은 압축 단계로 불리워질수 있다. 펌프는 10에서 40단계의 수를 갖는다. 로터는 9000rpm에서 90000rpm 까지 속도를 낼수 있는 모터에 의해 작동되며, 펌프의 크기에 의존한다. 모터는 특별한 전력 공급기를 통해 전력이 공급된다. 응축된 기체들은 포라인을 거쳐서 펌프로부터 방출되고 몇가지 형태의 포펌프에 의해 제거될 수 있다.
터보펌프의 진동의 주요원인은 로터 조립의 불균형 때문이다. 이 불균형은 펌프 로터의 방사선 방향의 가속 때문에 생기고, 주입구의 변위로써 나타난다. 전형적으로, 이변위는 0.02 마이크론이고, 터보펌프의 응용에 잇어 주요 제한 요소이다.
SEM 이나 이온빔 시스템과 같이 진동에 민감한 장비에 적용시킴에 있어 진동 절연체는 10에서 30배의 진동을 감소 시키는데 활용될 수 있다.
터보펌프가 갖는 진동은 고주파와 관계 있으며, 다른 기계적 펌프가 갖는 저주파 진동보다 격리하기가 쉽다.

참고자료

· 없음