반도체 클린룸 팀페이퍼

소개

반도체 클린룸 - 클린룸 클레스를 업그레이드

목차

Ⅰ 서론
- 들어가며

Ⅱ 본론
- 이론적 배경
1. 클린룸의 정의
2. 클린룸의 배경 및 발전과정
3. 클린룸의 사용 목적에 따른 분류
ㄱ. 생물용 클린룸 (BCR)
ㄴ. 산업용 클린룸 (ICR)
ㄷ. 기류 흐름 방식에 따른 클린룸
4. 클린룸의 규격과 청정도 기준
5. 클린룸의 상태구분
6. 팀 페이퍼
조별 모임

Ⅲ 결론
- 클린룸의 오염원
- 오염원의 해결 방안
- 클린룸의 설치 장비
ㄱ. Air shower ( 자동 - auto door )
ㄴ. Pass box
ㄷ. Clean locker
ㄹ. HEPA Filter
- team paper를 마치며 , 참고문헌

본문내용

- 들어가며

이번 반도체 소재 공정에서 과제로 내주신 term paper를 받았을 때, 우리가 받고 있는 수업에 가정 직접적인 영향을 미치는 주제가 무엇일까 생각해본 결과 클린룸이 그에 가장 적합한 것 같아서 클린룸을 다루기로 하였다. 우선 클린룸에 대한 명확한 지식이 부족하기 때문에 그에 따른 정보를 인터넷 리서치와 논문자료를 찾아서 지식을 습득하였다. 그리고 우리 대학 산학협력공학관에 있는 클라스 1,000의 클린룸의 현황과 어떤 방식과 어떤 장비를 사용하는지 확인해 본 후 팀원들끼리 상호간 토론 과정을 통해 클린룸의 오염원이 어떤 것들이 있고, 그 오염원들 중에 해결 할 수 있는 것들을 토의해 보았다. 그리고 토의한 내용을 바탕으로 필요한 장비와 리모델링할 부분을 종합하여 클린룸 업체를 선정 후 문의 하여, 경비를 구체적으로 알아보았다.

- 이론적 배경

1. 클린룸(Clean Room)의 정의

클린룸이란 공기 중에 부유되어 있는 먼지입자의 농도, 온도, 습도, 기압 및 기류 등이 정밀하게 제어되는 공간(Clean Space)또는 건물을 지칭한다. 흔히 말하는 첨단기술을 연구 ․ 개발하고 또 그것을 실용화시키기 위해서는 고도로 제어된 작업실이 필요한데 실내 환경의 제어 항목으로는 공기 청정도를 비롯해, 온도 ․ 습도 ․ 기류 ․ 진동 ․ 전기노이즈(noise) ․ 이온 등이 있다. 이 중 공기청정도에 특히 초점을 맞추어 제어하는 실을 클린룸이라고 정의한다. 즉, 사용 목적에 따라 요구되어진 온도, 습도, 기류, 기압, 진동, 먼지입자의 농도, 조도 그리고 부유미생물 등의 생물학적인 요소 까지도 제어되는 공간을 클린룸(Clean Room)이라고 한다.
클린룸은 크게 공업 분야에서 공기 중의 먼지 등의 부유 입자를 제어 대상으로 하는 산업용 클린룸과 병원의 수술실, 제약 산업, 식품 산업분야에서 세균이나 곰팡이 등 미생물을 제어대상으로 하는 생물용 클린룸으로 분류 된다.

2. 클린룸(Clean Room)의 배경 및 발전과정

클린룸은 19세기 후반 세균에 의한 위험성 등이 확인 되면서 그 필요성이 점차 증가하였다. 그 당시 각종 질병의 원인이 되는 세균들이 발견되고 많은 질병들이 그 세균에 의해 전달된다는 것이 알려지면서 병원 내 사용기구나 수술자의 손등을 소독하고 병원, 수술실의 공기도 소독이 실시되었다. 그 후 세계대전을 전후로 항공기에 사용되는 부품이 미세한 분진 오염으로 인하여 각종 사고의 원인이 된다는 것을 알고 이러한 부품들에 있어 오염 및 분진 관리가 시작 되었다.

참고자료

· 1. ClEAN ROOM EQUIPMENT
· Clean Room System - 클린룸의 개요
· http://www.moojinen.com/product.htm
· 2. 학위 논문 : 박만철 저 『반도체공장 클린룸의 공기 중 세균과 곰팡이 오염 및 유입경 로』
· 3. 학위 논문 : 이선용 저 『산업용 클린룸의 운용특성과 관련된 건축적 고려사항에 관한 연구』
· 4. 클린룸 업체 : (주) 동양테크 (www.dy - tech.co.kr)
· 5. 클린룸 업체 : 세스코 (www.secos.co.kr)