Four point probe의 원리 및 실험

저작시기 2008.05 |등록일 2009.06.17 한글파일한컴오피스 (hwp) | 8페이지 | 가격 2,500원
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목차

1. Objective
2. General principle of 4point probe measurements method.
3. Experiment

본문내용

1. Objective
- To understand the relationship between sheet resistance (Rs) and thickness (t)
of conductor.
- To understand the poeration principle of 4 point probe for Rs measurement.

2. General principle of 4point probe measurements method.

(1) Four point probe 란?
: Four point probe는 4-point probe, 4 probe head, 4PP, FPP, 4탐침 등으로 불리우며, 탐침이 4개가 달린 표면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 것을 말한다. 보통은 1mm간격으로 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 이용한 다. 이외에 탐침을 정방형으로 나열시킨 Squre type의 Hall probe와 고온까지 견 딜 수 있도록 특수 제작된 고온용Probe가 있다. 4-point probe를 하는 목적은 어 떠한 반도체 물질위에 씌여진 금속막의 비저항을 측정하기 위한 것이다. 측정하는 곳은 앞에서 이야기한 4point probe에서 측정하게 된다.
(2) Four point probe 의 구조 및 원리.
(2-1) Four point probe 의 구조









Figure 1. Four point probe 의 전체 image Figure 2. 탐침의 image







Figure 3. 탐침의 개요도
(2-2) Four point probe 의 원리
: 탐침 양단간의 전체저항은 우리가 이미 알고 있는 식인 R=를 구할 수 있는데,
여기서의 R값은 전체 저항으로 다음과 같이 표현된다.

(식 1.1)
: probe 자체저항,
: 기판과 probe간의 접촉저항,
: spreading resistance,
: 반도체저항

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