오제이 전자분광 분석(Auger Electron Spectroscopy)

소개

오제이 전자분광 분석(Auger Electron Spectroscopy)의 개발 배경과 측정 원리 및
그에 대한 이해를 상세히 알아본다.

목차

Auger Electron Spectroscopy
1) 물리적 이론
-전자구조 – 고립된 원자
-전자구조 – 고체상태

2)The Auger Process & Auger Spectroscopy
- 이온화
- 안정화/오제이 방출

3) Example

본문내용

오제이 전자분광 분석은 1960년대 후반에 개발되었다. 오제이라는 이름은 1920년대 중반 프랑스 과학자 Pierre Auger에 의해 처음 그 효과가 관측되어 유래되었다. AES는 Auger process에서의 저에너지 전자의 방출을 이용한 표면 규명 기술이며 또한 샘플의 표면을 구성을 알아내기 위해 가장 일반적으로 사용되는 표면 분석기술 중 하나이다.

물리적 이론

오제이 전자분광분석은 아래 세 가지 단계로 고려해 볼 수 있다:

(1) 원자 이혼화(핵 전자의 제거를 통한)
(2) 전자 방출(Auger process)
(3) 방출된 오제이 전자의 분석

시작에 앞서, 마지막 단계는 간단하게 높은 민감도로 전하되어 방출된 전자들의 운동에너지는 확인하기 위해 입자를 탐지하는 기술적 문제이기 때문에 우리는 여기서 원자 이온화의 대한 내용, 그리고 전자 방출(Auger process)에 대한 내용을 살펴볼 것이다. 그렇게 함으로써, 원자 혹은 고체 내의 전자 구조 그리고 관련된 명칭들을 간단히 검토하기 위해 유용할 것이다.

전자구조 – 고립된 원자

아래 다이어그램에 고립된 다전자원자안에서의 전자의 에너지들을 우측의 화학적 표기법과 함께 도식적으로 그렸다.

하지만, x-ray 를 연구하는 과학자들은 왼쪽 표기법을 더 많이 사용하는 경향이 있고 실제 AES에서 사용되는 표기법도 왼쪽에 표기한 M,L,K.. 의 표기법이다.
K,L,M.. 껍질로 표기한 에너지 명칭은 각각에 해당하는 주양자수에 근거한다. 그것이 진공레벨을 기준으로 하여 각 에너지 레벨들을 구분하기 위해 좀더 편리하다. KLM 표기법은 주껍질 표기를 따르는 다양한 문자들로 쓰여졌다.

참고자료

· 없음