정전용량식 터치스크린 패널을 위한 SiO2 버퍼층 두께에 따른 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성 (Electrical and Optical Properties of ITO Thin Films with Various Thicknesses of SiO2 Buffer Layer for Capacitive Touch Screen Panel)

서지정보

· 발행기관 : 한국전자통신학회
· 수록지 정보 : 한국전자통신학회 논문지 / 17권 / 6호 / 1069 ~ 1074페이지
· 저자명 : 정윤근, 정양희, 강성준

초록

본 연구에서는 Nb2O5/SiO2 이중 버퍼층위에 ITO박막을 증착하여, SiO2버퍼층 두께 변화(40∼50nm)에 따른 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. Nb2O5/SiO2 이중 버퍼층을 도입한 ITO박막의 표면 거칠기는 0.815 에서 1.181nm범위의 작은 값을 가지는 매끄러운 형상을 보였고, 면저항은 99.3∼134.0Ω/sq.범위로 정전용량식 터치스크린 패널에 적용하는데 문제가 없는 것으로 나타났다. 특히 Nb2O5(10nm)/SiO2(40nm) 이중 버퍼층을 삽입한 ITO박막의 단파장(400∼500nm) 영역에서의 평균 투과도와 색도(b*)는 83.58% 와 0.05로 이중 버퍼층이 삽입되지 않은 ITO박막의 74.46% 와 4.28에 비해 상당히 향상된 결과를 나타내었다. 이를 통해 Nb2O5/SiO2 이중 버퍼층을 도입한 ITO박막에서 인덱스 매칭 효과로 인해 단파장 영역의 투과도 및 색도와 같은 광학적 특성이 현저히 향상되었음을 확인할 수 있었다.

영어초록

In this study, we prepared ITO thin films on the Nb2O5/SiO2 double buffer layer and investigated electrical and optical properties according to the change of SiO2 buffer layer thickness (40~50nm). The ITO thin film fabricated on the Nb2O5/SiO2 double buffer layer exhibited a broad surface roughness with a small value ranging of 0.815 to 1.181nm, and the sheet resistance was 99.3 to 134.0Ω/sq. It seems that there is no problem in applying the ITO thin film to a capacitive touch screen panel. In particular, the average transmittance in the short-wavelength (400~500nm) region and the chromaticity (b*) of the ITO thin film deposited on the Nb2O5(10nm)/SiO2(40nm) double buffer layer showed significantly improved results as 83.58% and 0.05, respectively, compared to 74.46% and 4.28 of ITO thin film without double buffer layer. As a result, it was confirmed that optical properties such as transmittance in the short-wavelength region and chromaticity were remarkably improved due to the index matching effect in the ITO thin film with the Nb2O5/SiO2 double buffer layer.

참고자료

· 없음