전기전도성을 가지는 매크로다공성 알루미노실리케이트-탄소 복합체 제조 (Synthesis of Electro-conducting Macroporous Aluminosilicate-Carbon Nanocomposite)

서지정보

· 발행기관 : 한국전기전자재료학회
· 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 30권 / 2호 / 67 ~ 73페이지
· 저자명 : 최광민, 조우석, 김종영, 정종열, 백승우, 이규형

초록

최근 반도체, 디스플레이 제조장비용 세라믹소재로 우수한 기계적 강도 및 대전방지 기능을 가지는 전기전도성 매크로포러스 세라믹스가 시급히 요구되고 있다. 본 연구에서는 다공성 알루미노실리케이트 기지상에 전도성 흑연을 분산하여 소결함으로써 108-1010 ohm의 표면저항을 가지는 전기전도성 매크로포러스 세라믹스를 제조하였다. 0.5-3.0 wt%의 프리트 유리를 첨가함으로써 알루미노실리케이트 입자 사이의 결합 특성을 향상하였고, 그 결과로 기계적 강도를 꺽임강도를 160 MPa 수준으로 증가하였다. 개발 소재를 적용한 진공척용 모듈을 제작하여 진공척의 특성을 평가하였다.

영어초록

Recently, macroporous ceramic materials with high electrical conductivity and mechanical strength areurgently needed for semiconductor and display manufacturing devices. In this work, we obtained electro-conductingmacroporous aluminosilicate ceramics having surface resistivity of 108~1,010 ohm by dispersing electro-conductingcarbon in ceramic matrix. By addition of 0.5~3.0 wt% frit glass, chemical bonding between grains was strengthened,and flexural strength was enhanced up to 160 MPa as a result. We evaluated the characteristics of present ceramicsas vacuum chuck module for liquid crystal display display manufacturing devices.

참고자료

· 없음