PARTNER
검증된 파트너 제휴사 자료

파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정 (Surface Profiling of Silicon Wafer Using Wavelength-Scanning Fizeau Interferometer and Gaussian Window Function)

11 페이지
기타파일
최초등록일 2025.07.06 최종저작일 2024.07
11P 미리보기
파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정
  • 미리보기

    서지정보

    · 발행기관 : 대한기계학회
    · 수록지 정보 : 대한기계학회논문집 A / 48권 / 7호 / 455 ~ 465페이지
    · 저자명 : 배준철, 김환, 전주림, 김양진

    초록

    파장 주사 Fizeau 간섭계는 표면 형상을 측정하는 데 널리 사용되어 왔다. 간섭무늬의 위상분포는 위상 변조 알고리즘을 사용하여 계산된다. Surrel의 특성 다항식 이론에 따라, 창함수를 조정함으로써 다양한 위상 변조 알고리즘을 쉽게 설계할 수 있다. 이 이론을 기반으로 다양한 형태의 창함수를 가진 유연한 위상 변조 알고리즘들이 개발되었다. 산업계에서 높은 측정 정밀도를 요구함에 따라, 향상된 위상 변조 오차 억제 성능을 가진 유연한 위상 변조 알고리즘들의 개발의 필요성이 증가하고 있다. 그러나 이러한 알고리즘들의 창함수는 M-샘플 특성 다항식의 거듭제곱으로 표현되기에 유도하는 과정이 복잡하여 개발에 어려움이 따른다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 논문에서는 기존의 유연한 위상 변조 알고리즘의 창함수를 일반화하여 Gaussian 창함수를 유도한다. 마지막으로, 파장 스캐닝 Fizeau 간섭계와 Gaussian 10N - 9 알고리즘을 사용하여 4-인치 실리콘 웨이퍼의 표면 형상을 측정한다.

    영어초록

    Wavelength-scanning Fizeau interferometry is extensively utilized for measuring surface shapes. The phase distribution in a fringe pattern can be determined using a phase-shifting algorithm. Surrel's characteristic polynomial theory allows for the design of flexible phase-shifting algorithms by modifying the window function. As industry demands for higher measurement precision increase, the need to develop flexible phase-shifting algorithms with improved phase-shift error suppression has been increasing. Nevertheless, devising these algorithms poses significant challenges, primarily due to the complex derivation of their window functions, which are formulated as powers of M-sample characteristic polynomials. In this study, the Gaussian window function was developed by generalizing existing flexible phase-shifting algorithms. Ultimately, a 4-inch silicon wafer's surface shape was measured via a wavelength-scanning Fizeau interferometer employing the 10N – 9 algorithms, which are calculated by Gaussian phase-shifting algorithm.

    참고자료

    · 없음
  • 자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요

    해피캠퍼스 FAQ 더보기

    꼭 알아주세요

    • 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
      자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
      저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
    • 해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
      파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
      파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

“대한기계학회논문집 A”의 다른 논문도 확인해 보세요!

문서 초안을 생성해주는 EasyAI
안녕하세요. 해피캠퍼스의 방대한 자료 중에서 선별하여 당신만의 초안을 만들어주는 EasyAI 입니다.
저는 아래와 같이 작업을 도와드립니다.
- 주제만 입력하면 목차부터 본문내용까지 자동 생성해 드립니다.
- 장문의 콘텐츠를 쉽고 빠르게 작성해 드립니다.
- 스토어에서 무료 캐시를 계정별로 1회 발급 받을 수 있습니다. 지금 바로 체험해 보세요!
이런 주제들을 입력해 보세요.
- 유아에게 적합한 문학작품의 기준과 특성
- 한국인의 가치관 중에서 정신적 가치관을 이루는 것들을 문화적 문법으로 정리하고, 현대한국사회에서 일어나는 사건과 사고를 비교하여 자신의 의견으로 기술하세요
- 작별인사 독후감
해캠 AI 챗봇과 대화하기
챗봇으로 간편하게 상담해보세요.
2025년 07월 24일 목요일
AI 챗봇
안녕하세요. 해피캠퍼스 AI 챗봇입니다. 무엇이 궁금하신가요?
4:47 오전