기판 온도 변화에 따라 증착되어진 ZnO 박막의 특성과 유기태양전지의 버퍼층으로의 응용 (Characteristics of ZnO Thin Films Deposited with the Variation of Substrate Temperature and the Application As Buffer Layer in Organic Solar Cell)

서지정보

· 발행기관 : 한국전기전자재료학회
· 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 28권 / 10호 / 648 ~ 651페이지
· 저자명 : 박용섭

초록

역구조 유기태양전지의 버퍼층으로서 응용하기 위하여 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 다양한 기판 온도에 따라 증착되어진 ZnO 박막의 특성들을 고찰하였다. 기판온도에 따라 제작된 ZnO 박막의 구조적, 전기적 특성을 고찰하였으며, 이러한 특성을 바탕으로 역구조 유기태양전지를 제작하여 전기적 특성을 고찰하였다. ZnO박막 증착 시 기판온도는 증가는 박막의 결정성을 향상시켜 전기적 특성을 향상시키는데 기여하였으며, 결과로서 300℃ 기판온도에서 제작한 ZnO 박막을 역구조 유기태양전지 소자에 이용한 결과 가장 높은 효율을 갖는다는 것을 확인하였다.

영어초록

The characterizations of zinc oxide (ZnO) buffer layers grown by unbalanced magnetron (UBM) sputtering under various substrate temperatures for inverted organic solar cells (IOSCs) were investigated. UBM sputter grown ZnO films exhibited higher crystallinity with increasing the substrate temperature, resulting in uniform and large grain size. Also, the electrical properties of ZnO films are improved with increasing substrate temperature. In the results, the performance of IOSCs critically depended on the substrate temperature during the film growth because the crystalllinity of the ZnO film affect the carrier mobility of the ZnO film.

참고자료

· 없음