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OLED Anode용 IZO 박막의 기판 온도에 따른 특성 (The performance of IZO thin film with substrate temperature for OLED anode)

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최초등록일 2025.06.15 최종저작일 2009.09
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OLED Anode용 IZO 박막의 기판 온도에 따른 특성
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국반도체디스플레이기술학회
    · 수록지 정보 : 반도체디스플레이기술학회지 / 8권 / 3호 / 51 ~ 55페이지
    · 저자명 : 홍정수, 김경환

    초록

    We investigated that electrical and optical the properties of IZO thin film for OLED anode application. The IZO thin film was the deposited on the glass substrate by facing targets system as a function of substrate temperature. As a result, the electrical and optical property of IZO thin film prepared with 150˚C was most excellent. To confirm the suitability of the IZO thin film for OLED anode, we evaluated the performance of OLED with IZO/TPD/Alq3/LiF/Al fabricated on IZO anode. Also, the performance of OLED fabricated on IZO anode showed the most excellent at 150˚C substrate temperature.

    영어초록

    We investigated that electrical and optical the properties of IZO thin film for OLED anode application. The IZO thin film was the deposited on the glass substrate by facing targets system as a function of substrate temperature. As a result, the electrical and optical property of IZO thin film prepared with 150˚C was most excellent. To confirm the suitability of the IZO thin film for OLED anode, we evaluated the performance of OLED with IZO/TPD/Alq3/LiF/Al fabricated on IZO anode. Also, the performance of OLED fabricated on IZO anode showed the most excellent at 150˚C substrate temperature.

    참고자료

    · 없음
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