미세 피치 칩 온 필름의 결함 검출을 위한 자동 시스템 개발 (Development of Automatic System for Fault Detection of Fine Pitch Chip-on-Films)

서지정보

· 발행기관 : 한국정보기술학회
· 수록지 정보 : 한국정보기술학회논문지 / 9권 / 1호 / 25 ~ 34페이지
· 저자명 : 류지열

초록

본 논문은 24µm 이하의 폭 및 30µm 이하의 피치와 같이 미세 패턴을 가진 칩 온 필름(chip-on-film, COF)에 발생한 결함들을 자동으로 검출할 수 있는 시스템을 제안한다. 개발된 검출 시스템은 미세 패턴의 COF에서 발생한 개방, 단락, mouse bite 및 near short과 같은 다양한 결함들을 자동으로 빠르게 검출할 수 있는 기술이 적용되어 있다. 본 논문에서 제안하는 결함 검사 기술의 기본 원리는 미세 패턴내의 결함으로 인해 발생한 패턴 저항의 미세 변화를 고주파 공진기를 이용하여 측정 주파수에서 증폭시키고 증폭된 결함 신호와 결함이 없는 경우의 신호와의 전압차를 읽어서 0이 아니면 결함이 있음을 판단한다. 제안된 시스템은 미세 패턴 COF 검사 과정에서 결함들을 신속히 측정할 수 있으므로 기존의 COF 검사방식에 비해 소요되는 경비를 상당히 줄일 수 있으리라 기대한다.

영어초록

This paper presents a novel automatic detection system for COF(chip-on-film) with fine width of less than 24µm and fine pitch of less than 30µm. Developed system can automatically detect variety of defects such hard open, hard short, mouse bite (soft open) and near short (soft short). Basic principles are to detect these defects determining voltage difference of 0-volt using radio frequency resonator. This resonator amplifies resistance variations of interconnection from defects of fine patterns. It detects voltage differences between defect-free and defect cases. We believe that this approach based on an automatic detection system can fairly save COF costs in production testing as well as in the measurement system as compared to conventional COF test approaches.

참고자료

· 없음