화염 분무 열분해법에 의해 합성된 SnO2 나노입자의 가스 감응 특성 (Gas Sensing Property of SnO2 Nanoparticles Synthesized by Flame Spray Pyrolysis)

서지정보

· 발행기관 : 한국전기전자재료학회
· 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 25권 / 8호 / 626 ~ 631페이지
· 저자명 : 김홍찬, 홍성현, 신동욱

초록

SnO2 나노입자를 화염 분무 열분해법을 이용하여 합성하였으며, 다공성 SnO2막을 화염 분무 열분해법을 통해 백금 전극이 올려진 기판 위에 직접적으로 증착하였다. 증착된 다공성 SnO2막의 가스 감응 특성을 수소(H2), 일산화탄소(CO), 황화수소(H2S), 암모니아(NH3)와 같은 다양한 가스에 대해 평가하였으며, 상용화 SnO2 나노분말의 가스 감응 특성과 비교하였다. 또한, 전구체 용액의 용매를 변화시켜가며 SnO2 나노입자를 합성하였다. 용매의 변화에 따라 SnO2 나노입자의 입자 크기의 변화를 관찰하였고, 이에 따른 수소 감응 특성의 변화를 관찰하였다.

영어초록

SnO2 nanoparticles were synthesized by flame spray pyrolysis, which were directly deposited on Pt interdigitated substrates. Gas sensing performance was evaluated for various gases such as H2, CO,H2S, and NH3, and it was compared with that of commercial SnO2 nanopowder. The synthesis of SnO2nanoparticles was also conducted in various solvents. As a result, the primary particle size was changed with the solvent of precursor solution, and their H2 sensing properties were significantly affected.

참고자료

· 없음