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Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구

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최초등록일 2025.06.01 최종저작일 2005.10
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Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국정보통신학회
    · 수록지 정보 : 한국정보통신학회논문지 / 9권 / 7호 / 1588 ~ 1593페이지
    · 저자명 : 유경한, 이송재, 소대화, 홍상진

    초록

    본 논문은 정수장에서 사용하는 응집제의 종류를 결정하기 위한 시스템 개발에 관한 내용이다. 정수장은 여러 단위 처리장으로 구성되며, 불순물을 제거하기 위하여 혼화지에서 응집제를 주입하여 침전을 시킨다. 현재까지 응집제 결정을 위해 Jar-test를 이용하는데, 이 방법은 사람의 주관적인 판단에 의존하므로 실험 오차가 발생할 수 있다. 특히 정수장의 자동화를 위한 시스템 개발에서 가장 큰 걸림돌로 작용하고 있다. 본 논문은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 로드맵에 기초한 데이터마이닝 기법을 이용하여 응집제를 선택할 수 있는 제어기를 개발하였다. 제어 규칙은 클러스터링 기법으로 도출하였는데, 군집의 초기 값과 개수는 통계적 지수 값을 사용하여 결정하였다.

    참고자료

    · 없음
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