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이온빔 조사된 용액 공정 기반 LaZnO 박막 위 액정 분자의 수평 배향 특성 (Homogeneous Alignment Characteristics of Liquid Crystal Molecules on Solution-Derived Lanthanum Zinc Oxide Film with Ion-Beam Irradiation)

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최초등록일 2025.05.17 최종저작일 2019.09
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이온빔 조사된 용액 공정 기반 LaZnO 박막 위 액정 분자의 수평 배향 특성
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국전기전자재료학회
    · 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 32권 / 5호 / 382 ~ 386페이지
    · 저자명 : 오병윤

    초록

    이온빔 조사된 용액 공정 기반의 LaZnO (LZO) 박막 위의 액정 분자 배향 특성을 연구하였다. 용액 공정을 이용하여 유리 기판 위에 LZO 박막을 형성하고 100 ℃의 온도에서 소성시켰다. 그리고 이온빔을 액정 배향법으로 도입하였다. 위의 방법으로 제작한 박막을 이용하여 액정 셀을 제작하고 배향 특성을 확인하였다. 편광 현미경과 결정 회전법를 사용하여 LZO 박막 위의 액정 분자 배향 상태를 확인하였으며, 전계 방출 주사전자 현미경과 X-선 광전자 분광법을 사용하여 이온빔이 박막에 미치는 영향을 조사하였다. 이것을 통하여 물리적, 화학적 이방성을 발생시키는 표면 변화가 이온빔에 의해 이루어졌다는 것을 확인할 수 있었다. 또한 이러한 변화를 통해 균일한 액정 배향을 얻을 수 있었다. 최종적으로 잔류 DC 전압과 액정의 고정 에너지를 정기용량-전압 분석을 통해 측정하였다.

    영어초록

    The alignment characteristics of liquid crystal (LC) molecules on a solution-derived lanthanum zinc oxide (LZO) film under ion-beam irradiation were demonstrated. Using the solution process, an LZO film was fabricated on the glass substrate and cured at 100℃. Afterwards, ion-beam irradiation was performed following the LC alignment method. Using this film, an LC cell was fabricated and the characteristics of the LC alignment were verified. Cross polarizing microscopy and the crystal rotation method were used to investigate the alignment state of the LC molecules on the LZO films. Furthermore, field emission scanning electron microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy were used to explore the effect of the ion-beam irradiation on the LZO film. Through these, it was confirmed that the ion-beam irradiation induced surface modification, which demonstrated anisotropic physical and chemical surfacecharacteristics. Due to this, uniform LC alignment was achieved. Finally, the residual DC and anchoring energy of the LC cell based on the LZO films were measured using a capacitance-voltage curve.

    참고자료

    · 없음
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