서브 마이크론급 구형 동분말의 볼 밀링을 통한 플레이크 동분말의 제조 (Fabrication of Cu Flakes by Ball Milling of Sub-micrometer Spherical Cu Particles)

서지정보

· 발행기관 : 한국마이크로전자및패키징학회
· 수록지 정보 : 마이크로전자 및 패키징학회지 / 21권 / 4호 / 133 ~ 137페이지
· 저자명 : 김지환, 이종현

초록

직경 수 마이크론급의 Ag 코팅 Cu 플레이크를 제조하기 위한 선행공정으로 습식 화학적 합성법으로 제조된서브마이크론급의 Cu 입자를 볼 밀링 공정을 통해 프레이크화 하였다. 입자들의 산화 및 응집을 막기 위해 볼 밀링 유체로는 에틸렌글리콜을 사용하였고, 에틸아세테이트 표면개질제도 첨가하였다. 용기의 회전수에 따른 실험 결과를 통해 회전수에 따른 회전 모드의 변화가 밀링 후 Cu 입자들의 평균적인 형상과 형상 균일도를 크게 변화시킴을 확인할 수 있었다. 또한 첨가한 지르코니아 볼의 직경 역시 Cu 입자들의 플레이크화 균일도를 결정하는 대표 공정변수임을 확인할 수있었다. 그 결과 다소간의 응집체를 포함한 서브마이크론급의 Cu 입자를 사용했음에도 불구하고, 회전수, 표면개질제 첨가량, 그리고 지르코니아 볼의 직경 등의 대표 공정변수들을 최적화한 볼 밀링 공정을 통해 분산성이 우수한 수 마이크론급의 Cu 플레이크를 성공적으로 제조할 수 있었다.

영어초록

As a preceding process for preparing several micrometer sized Ag-coated Cu flakes, ball milling ofsubmicrometer-sized Cu particles synthesized through a wet chemical method was performed in order to convert theparticles into flakes. To suppress oxidation and aggregation of the particles during ball milling, ethylene glycol and ethylacetate were used as a medium and a surface modifying agent, respectively. Results obtained with different rotation speedsof a jar indicated that the rotation speed changes a rotating mode, and strikingly alters the final shapes and shape uniformityof Cu particles after milling. The diameter of zirconia ball was also confirmed. Although there was aggregates in theinitial submicrometer-sized Cu particles, therefore, well-dispersed Cu flakes with a size of several micrometers weresuccessfully prepared by ball milling through optimization of rotation speed, amount of ethyl acetate, and diameter ofzirconia ball.

참고자료

· 없음