에어로졸 증착법에 의해 제조된 PZT 막의 상변화와 전기적 특성 (Phase Evolution and Electrical Properties of PZT Films by Aerosol-Deposition Method)

서지정보

· 발행기관 : 한국전기전자재료학회
· 수록지 정보 : 전기전자재료학회논문지 / 30권 / 9호 / 541 ~ 545페이지
· 저자명 : 박춘길, 강동균, 이승희, 공영민, 정대용

초록

PZT [Pb (Zr0.52Ti0.48) O3]의 위상 변화와 전기적 특성을 조사하기 위해 두께 방향으로 5-10㎛의 두께를 갖는 필름을 에어로졸 증착법으로 제작 하였다. PZT AD 필름은 실온에서 결정 성이 낮고 치밀한 구조를 지닌 나노 크기의 입자를 나타 냈습니다. As-deposited AD는 정방 정계와 능 면체 정계의 두상의 혼합물을 보여 주었다. 어닐링 온도를 제어하여 상전이 거동을 조절합니다. 결정 성 AD PZT 후막은 450, 550 및 650 ℃에서 2 시간 동안 어닐링함으로써 향상되었다. AD PZT 막을 650 ℃에서 열처리 하였을 때, 정방 정계와 능 면체 정계가 반응하여 두 상간에 중간상이 형성되었다. (P-E) 히스테리시스 루프는 650 ℃에서 어닐링 된 AD 필름이 낮은 항정계와 작은 이력곡선을 나타내었다.

영어초록

Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT) films with a thickness of 5~10 μm at the morphotropic phase boundary werefabricated by aerosol-deposition (AD), and their phase evolution and electrical properties were investigated. Themicrostructure of the AD PZT films revealed nanosized grains with a low crystallinity and a dense structure atroom temperature. The AD PZT films showed a mixture of tetragonal and rhombohedral phases. The post-annealingtemperature was varied to study the phase transition behavior. The crystallinity of the AD PZT films was enhancedby annealing at 450, 550, and 650℃ for 2 h. At 650℃, the tetragonal and rhombohedral phases reacted to form abridge phase between the two phases. The polarization-electric field hysteresis loops of the AD PZT film annealedat 650℃ exhibited a smaller cohesive field and a lower slim hysteresis than the films annealed at 450 and 550℃.

참고자료

· 없음