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직류 마그네트론 스퍼트링 방법에 의한 투명전도성 ITO 박막의 특성에 미치는 캐소우드 자기장 효과

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최초등록일 2025.04.26 최종저작일 2006.12
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직류 마그네트론 스퍼트링 방법에 의한 투명전도성 ITO 박막의 특성에 미치는 캐소우드 자기장 효과
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국물리학회
    · 수록지 정보 : 새물리 / 53권 / 6호 / 642 ~ 646페이지
    · 저자명 : 류성원, 김종재, 김화민, 박승환, 홍우표, 홍재석

    초록

    직류 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 상온에서 유리 기판 위에
    투명전도성 산화물 ITO (In$_2$O$_3$-SnO$_2$) 박막을 제작하고, 제작된
    박막의 광학적 및 전기적 성질을 조사하였다. 본 논문에서는 대량생산에
    용이한 직류 스퍼터링 공정에 있어서 고품질의 ITO 박막을 제작하기 위한
    중요한 증착조건의 하나로서, 타겟에 걸어주는 자속밀도, 즉 캐소우드
    자기장의 세기를 변화시킬 때, ITO 박막 형성 조건과 제작된 박막의
    전기적, 광학적 특성들의 변화를 중심으로 논의한다. ITO 타겟에 걸어준
    자기장의 세기가 커질수록 막의 증착율은 증가하나 박막의 비저항은
    감소하는 경향을 보이며, 3400 G 이상의 자기장에 대해서는 비저항은 한
    일정한 값에 접근하게 된다. 증착시간을 동일하게 하고 자기장의 세기를
    고정시킬 경우, 대부분의 ITO 박막에서 타겟의 중심 부분에 대응되는
    기판 부분에서는 박막의 두께가 거의 균일하게 형성되나 가장자리로
    갈수록 두께는 얇아지는 경향을 보인다. 동일한 증착시간에 대해,
    자기장이 강해질수록 박막의 두께는 증가하며 면저항은 낮아지게 됨을 알
    수 있는데, 두께의 변화에 따라 광학적 투과율 역시 여러 개의 진동하는
    스펙트럼을 보이게 된다. 이로부터, 직류 스퍼터링 공정에 있어서 양질의
    ITO 박막을 얻기 위해서는 적어도 3400 G 이상의 자기장을 캐소우드에
    걸어 줌이 바람직한 것으로 판단된다.

    참고자료

    · 없음
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