대면적 미세 금속전극 인쇄를 위한 원통형 마이크로 접촉 인쇄공정 (Roll-type Micro Contact Printing for Fine Patterning of Metal Lines on Large Plastic Substrate)

서지정보

· 발행기관 : 대한전자공학회
· 수록지 정보 : 전자공학회논문지 - SD / 48권 / 6호 / 7 ~ 14페이지
· 저자명 : 김준학, 이미영, 송정근

초록

본 논문은 PDMS(polydimethyl siloxane) 스탬프를 이용한 원통형 마이크로 접촉인쇄(roll-type micro-contact printing)에관한 것으로 대면적 플라스틱 기판에 미세 금속 전극 인쇄를 PDMS 스탬프의 평탄화, 은 나노 잉크의 은 함량, 공정변수인 코팅속도, 잉킹속도, 프린팅속도, 프린팅 압력을 조절하여 가장 우수한 인쇄특성을 나타내는 조건을 도출하였다. 그 결과 면적4.5cm × 4.5cm 기판에 최소선폭 10 um, 두께 300 nm, 표면거칠기 40 nm 이하, 비저항 2.08 × 10^(-5) Ω·cm의 특성을 갖는 은미세 전극을 인쇄하였다.

영어초록

This paper is related to a roll-type micro-contact printing process. The proper parameters such as coating velocity,inking velocity, printing velocity and printing pressure as well as Ag contents of Ag ink were extracted to perform the fine patterning of Ag electrodes. Additionally we developed a process for PDMS with high uniform thickness. Finally, we obtained the Ag fine electrodes on 4.5cm × 4.5cm plastic substrate with the line width of 10 um, thickness less than 300nm, surface roughness less than 40 nm, and the specific resistance of 2.08 × 10^(-5) Ω·cm.

참고자료

· 없음