초고해상도 픽셀 시프트 카메라를 활용한 모아레 패턴 분석 및 시료 변위 트래킹 (Analysis of Moiré Pattern and Sample Displacement Tracking using Ultra-high Resolution Pixel Shift Camera)

서지정보

· 발행기관 : 대한전자공학회
· 수록지 정보 : 전자공학회논문지 / 61권 / 6호 / 82 ~ 86페이지
· 저자명 : 문동민, 김영솔, 박경덕

초록

고해상도 이미지 분석을 저해상도 카메라로 실현할 수 있는 모아레 패턴 분석 기법의 효율성을 탐구한 본 연구는, 특히 변위 측정 및 추적 분야에서 그 가능성을 검증한다. 모아레 패턴 분석을 통해 물리적 변위를 정밀하게 계산하고, 이를 기반으로 초고해상도 픽셀 시프트 카메라를 활용하여 시료의 미세한 변위까지 정확하게 트래킹할 수 있는 새로운 접근법을 제시한다. 기존 기계적 이동 수단의 한계를 넘어서는 본 방법은 반도체 및 디스플레이 제조 과정에서 요구되는 고정밀도와 고속 반응성을 달성할 수 있으며, 이를 통해 생산 효율성과 제품 품질의 향상이 기대된다. 본 논문은 이러한 기술의 원리와 구현, 그리고 실제 적용 사례를 통해 그 유용성과 적용 범위를 탐구한다.

영어초록

This study, which explored the efficiency of the moiré pattern analysis technique that can realize high-resolution image analysis with a low-resolution camera, verifies its possibility, especially in the field of displacement measurement and tracking. A new approach that can accurately calculate physical displacements through moiré pattern analysis and accurately track even microscopic displacements of samples using an ultra-high-resolution pixel shift camera is presented based on this. This method, which is beyond the limitations of existing mechanical means of transportation, can achieve the high precision and high-speed reactivity required in the manufacturing process of semiconductors and displays, which is expected to improve production efficiency and product quality. This paper explores the principle, implementation, and practical application of these technologies.

참고자료

· 없음