사각 증착 ITO 박막계의 무반사 및 전자파 차폐 특성 (Anti-Reflection and Electromagnetic Wave Shielding Properties of the Oblique Angle Deposited ITO Films)

서지정보

· 발행기관 : 한국정보기술학회
· 수록지 정보 : 한국정보기술학회논문지 / 12권 / 9호 / 1 ~ 9페이지
· 저자명 : 안태균, 유연석

초록

사각 증착 방법을 사용하면 코팅 박막의 기둥 미세구조에 영향을 주게 되어 박막의 물리적, 광학적 특성이 변화된다. 기판 표면에 증발 입자들이 사각으로 입사하게 되면 그림자 효과 때문에 빈 공간이 존재하는 다공성 박막으로 성장한다. 여기서는 전자 빔 증착 방법을 사용하여 ITO(Indium-Tin-Oxide) 박막을 유리 기판에 코팅하였다. 실험 결과는 기판 표면에 대한 증착 입자들의 입사각도가 증가할수록 박막의 투과도와 비저항이 증가하지만 광학상수는 입사각도가 증가할수록 감소하는 것으로 나타났다. 또한 실험값을 사용하여 사각 증착한 ITO 박막의 전자파 차폐 특성을 이론적으로 분석하였으며 입사각도가 큰 박막들에서는 차폐효과가 감소하는 것으로 나타났다. 또한 사각 증착 ITO 박막의 광학상수를 사용하여 다층 무반사 박막계를 설계하여 실험적 코팅 데이터와 비교 분석하였다. 사각 중착 ITO 박막을 사용함으로써 전자파 차폐 기능을 포함한 단순화된 다층 무반사 박막계를 설계할 수 있었다. 이는 디스플레이 소자에서 사용 가능할 것으로 판단된다.

영어초록

If we use OAD method when we coat thin films, the physical and optical properties of thin films are changed as it influences columnar microstruture. When vapor flux incident on substrate surface as oblique angle, thin films grow as porous structure. In this experiment, we fabricated ITO thin films to glass substrate using E-Beam evaporation. The result showed that thin films' transmittance and resistivity are increased as vapour flux's angle of incidence to substrate surface is increased. On the other hand, optical constant is decreased as the angle is increased. Also, we conducted theoretical analysis on electromagnetic wave shielding properties of the oblique angle deposited ITO films using experimental data and found that electromagnetic wave shielding effect was decreased in thin films with large incidence angle. In addition, we designed multi-layer anti-reflection thin films system with using optical constant of oblique angle deposited ITO films and conducted comparative analysis on experimental multi-layer coating data. In conclusion, we could design simplified multi-layer anti-reflection systems having electromagnetic wave shielding property. It is expected to be used as a display device.

참고자료

· 없음