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비파괴 측정을 위한 근접장 마이크로파 현미경 연구

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최초등록일 2025.03.17 최종저작일 2004.10
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비파괴 측정을 위한 근접장 마이크로파 현미경 연구
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국비파괴검사학회
    · 수록지 정보 : 비파괴검사학회지 / 24권 / 5호 / 508 ~ 517페이지
    · 저자명 : 김주영, 김송희, 유현준, 양종일, 유형근, 유경선, 김승완, 이기진

    초록

    근접장의 특성과 근접장 마이크로파 현미경의 배경이론을 설명하였고 유전체 공진기 제작에 앞서 HFSS (high frequency structure simulator)를 이용한 모의 시뮬레이션을 기술하였다. 이것을 바탕으로 원통형 유전체 공진기를 제작하여 금속탐침과 결합한 근접장 마이크로파 현미경(near field scanning microwave microscope : NSMM)을 구성하였다. 제작한 유전체 공진기의 특성은 HFSS를 이용하여 모의 실험한 결과와 비교하였다. Tip의 기하학적 모양에 따른 공간분해능과 감도(sensitivity)를 연구하였고 contrast가 가장좋은 hybrid tip을 개발하였다. 전도도가 서로 다른 금속시료에 따른 NSMM의 반사계수의 변화를 측정하였고 실험결과와 이론적 시료의 임피던스를 비교하였다. 마지막으로 유전체 공진기를 이용한 NSMM으로 공간 분해능이 1μm의 Cr과 NiFe 패턴의 이미지를 비접촉, 비파괴방법으로 얻었다.

    참고자료

    · 없음
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