인하대 기계공학종합설계 논문

소개

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목차

제1장 서론
1.1 미세 가공기술의 동향
1.2 실험 목적

제2장 이론적 배경
2.1 기존 미세홀의 가공방법
2.1.1 레이져 가공방법
2.1.2 에칭 가공방법
2.1.3 초음파 가공방법
2.2 ECM의 기본원리
2.2.1 ECM의 기본개념
2.2.2 ECM의 특징 및 용도
2.2.3 기존 방법에 대한 ECM의 장점
2.2.4 EMM의 필요성

제3장 실험방법 및 결과
3.1 실험방법
3.1 실험조건 및 결과

제4장 실험 결과분석
4.1 On-time 오름차순에 따른 가공 결과
4.1.1 간극 변경
4.1.2 간극 고정
4.2 On-time 내림차순에 따른 가공 결과
4.2.1 간극 고정
4.2.2 간극 변경

제5장 결론

제6장 참고문헌

감사의 글

본문내용

1.1 미세 가공기술의 동향
현재 다양한 분야에 대한 산업이 발달함에 따라 초정밀 미세 부품, 인체 삽입용 의료기기, 마이크로 센서 등 특수한 목적을 가진 제품의 요구가 증대하고 있다. 각 제품의 목적에 맞는 가공 기술이 요구되고 있으며, 특히 인체용 의료기기, 마이크로센서, 반도체 기기 등에서는 기존 기계적인 가공 방식으로 이룰 수 없는 표면 품질을 요구하고 있는 실정이다.
기존 정밀 가공방법으로는 초음파가공, 레이저가공, 에칭 가공이 있는데 재료 경도에 따라 가공 결과가 달라지고 가공 후 공작물 표면에 미소한 가공 흔적 및 가공 변질 층이 남아있어 극 청정한 표면 품질을 요구하는 제품에 적용할 수 없다. 이에 따라 기존의 공구와 공작물의 접촉하는 방식을 사용하는 가공 방식을 배제하고 전기-화학적 용출 반응을 응용한 전해 가공(ECM)이 필요하게 되었다. ECM은 이를 보완한 가공 방식으로서 전기 분해하는 동안 양극 용해 방식에 의해 재료를 제거하는 공정이다. 이 가공은 선삭과 밀링과 같은 종래의 가공 공정에 비해 재료 경도에 관계없이 적용할 수 있고, 공구 마모가 없고, 비교적 높은 재료 제거율 (MRR), 매끈하고 광택 있는 표면, 응력과 균열 없이 복잡한 형상의 부품을 생산할 수 있는 장점을 가지고 있다. 펄스 미세 전해 가공(Electro-Chemical Micro Machining)은 기존의 ECM과 동일한 원리를 이용한 가공법으로 펄스 전압을 적용한 전기화학 가공 공정은 종래의 직류전원을 사용하는 가공 공정에 비해 안정된 전해액의 공급, 반응 가스와 열의 효과적인 제거 등으로 인하여 극간 거리를 더욱 낮게 설정할 수 있어 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한 표면의 미소 결함 감소, 균일한 가공 표면 적절한 전기화학 반응 등의 특성이 있어, 마이크로 급의 미세 가공과 미세 구조물의 연마 과정을 제어할 수 있다

1.2 실험 목적
본 논문에서는 인바 소재의 효과적인 미세홀 가공 효과를 확인하기 위하여 펄스 전해 가공을 적용하여 가공조건에 따른 가공특성을 조사하고자 한다.

참고자료

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· 김호성, 전기의 세계, p.50~54 레이저를 이용한 미세가공, 1993
· 김장우 외 4명, 레이저 빔 가공과 전해 에칭을 이용한 미세가공, Micromachining Using Laser Beam machining and Electrochemical Etching, 2011
· Jaeger, Richard C. (2002). "Lithography". Introduction to Microelectronic Fabrication (2nd ed.). Upper Saddle River: Prentice Hall.
· M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, 2 ed.: CRC Press, 2002
· Maricopa Advanced Technology Education Center (2001) Module 47 "The Etch Process"
· 초음파 [ ultrasonics wave / supersound , 超音波 ] 네이버 지식백과 (두산백과)
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· http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1147095&cid=40942&categoryId=32237
· 기계의 날 선포 및 2002년도 기계관련 산학연 연합심포지엄- 알루미나 세라믹의 초음파 가공. 강익수, 서용위, 강명창, 김정석
· Ultrasonic Machining of Alumina Ceramics
· 이종찬 외 9명, 실무중심의 기계공작법 제 2판 문운당, p.452-454 , 2009
· 전해가공(ECM)과 방전가공(EDM)의 최신기술 동향/한국과학기술정보연구원-나덕주/p.72~73
· 정밀 금속 부품 생산시스템[EMAG]/ECM-전기화학적 금속 가공/
· http://www.emag.com/kr/technologies/ecm-electro-chemical-machining.html
· 전해연마(E.P)란?-전해연마의 장점/상마금속/http://www.sangma.co.kr/03.htm