• AI글쓰기 2.1 업데이트
PARTNER
검증된 파트너 제휴사 자료

PVD 방법에 의한 TiN/TiSi2-bilayer 형성

방대한 850만건의 자료 중 주제별로 만들수 있는 최적의 산출물을 해피 캠퍼스에서 체험 하세요 전문가의 지식과 인사이트를 활용하여 쉽고 폭넓게 이해하고 적용할수 있는 기회를 놓치지 마세요
8 페이지
어도비 PDF
최초등록일 2016.04.02 최종저작일 1998.12
8P 미리보기
PVD 방법에 의한 TiN/TiSi2-bilayer 형성
  • * 본 문서는 배포용으로 복사 및 편집이 불가합니다.

    미리보기

    서지정보

    · 발행기관 : 한국재료학회
    · 수록지 정보 : 한국재료학회지 / 8권 / 12호
    · 저자명 : 최치규, 강민성, 김덕수, 이광만, 황찬용, 서경수, 이정용, 김건호

    초록

    Si 기판을 실온과 600˚C로 유지하면서 동시 증착 방법으로 (Ti+2Si)를 증착한 후 N2 분위기에서 Ti를 증발시켜 TiN(300Å)/(Ti+2Si, 300Å)/Si(100) 구조의 시료를 제작한 다음 초고진공에서 in-situ로 열처리하여 양질의 TiN/TiSi2-bilayer를 형성하였다 열처리 온도가 700˚C 이상에서 (111) texture 구조를 가지면서 화학 양론적으로 Ti0.5N0.5인 박막과 C54-TiSi2박막이 형성되었다. TiN/C54-TiSi2/Si (100)구조의 계면은 응집 현상이 없이 평활하였으며, C54-TiSi2상은 에피택셜 성장되었다. TiN/TiSi2-이중구조막의 면저항은 열처리 온도에 따라 감소하였으며, 700˚C 이상의 열처리 온도에서는 면저항 값이 2.5Ω/cm2 였다.

    참고자료

    · 없음
  • 자료후기

      Ai 리뷰
      지식판매자의 자료는 항상 최신 정보를 반영하고 있어 믿을 수 있습니다. 특히, 각 주제에 대한 깊이 있는 분석과 명확한 설명 덕분에 복잡한 개념도 쉽게 이해할 수 있었습니다. 여러분에게도 강력히 추천합니다!
    • 자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요

      해피캠퍼스 FAQ 더보기

      꼭 알아주세요

      • 본 학술논문은 (주)코리아스칼라와 각 학회간에 저작권계약이 체결된 것으로 AgentSoft가 제공 하고 있습니다.
        본 저작물을 불법적으로 이용시는 법적인 제재가 가해질 수 있습니다.
      • 해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
        파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
        파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우
    문서 초안을 생성해주는 EasyAI
    안녕하세요 해피캠퍼스의 20년의 운영 노하우를 이용하여 당신만의 초안을 만들어주는 EasyAI 입니다.
    저는 아래와 같이 작업을 도와드립니다.
    - 주제만 입력하면 AI가 방대한 정보를 재가공하여, 최적의 목차와 내용을 자동으로 만들어 드립니다.
    - 장문의 콘텐츠를 쉽고 빠르게 작성해 드립니다.
    - 스토어에서 무료 이용권를 계정별로 1회 발급 받을 수 있습니다. 지금 바로 체험해 보세요!
    이런 주제들을 입력해 보세요.
    - 유아에게 적합한 문학작품의 기준과 특성
    - 한국인의 가치관 중에서 정신적 가치관을 이루는 것들을 문화적 문법으로 정리하고, 현대한국사회에서 일어나는 사건과 사고를 비교하여 자신의 의견으로 기술하세요
    - 작별인사 독후감
    해캠 AI 챗봇과 대화하기
    챗봇으로 간편하게 상담해보세요.
    2026년 02월 24일 화요일
    AI 챗봇
    안녕하세요. 해피캠퍼스 AI 챗봇입니다. 무엇이 궁금하신가요?
    9:03 오전