인하대학교 나노집적반도체소자 MOSCAPACITOR 설계 및 분석
2025.01.09
1. MOS Capacitor 동작 원리
MOS Capacitor의 동작 원리를 이해하기 위해 Gate Material, Oxide Material, Semiconductor material 등에 대한 특성을 기술하였습니다. Gate Material로는 TiN을 선택하였고, Oxide Material로는 HfO2와 SiO2를 사용하였으며, Semiconductor material로는 p-type Si을 사용하였습니다. 각 material의 특성과 선택 이유를 자세히 설명하였습니다.
2. High-k 물질 도입에 대한 배경
Moore...
2025.01.09