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"deep si etcher" 검색결과 1-1 / 1건

Deep Si Etcher

Deep Si Etcher▣ 장비의 개략도와 외부 기능1- ①1- ② 41- ③1- ④2 31-① : Power 동작의 오류 발생 시 자동으로 조절하는 기능. 눈금이 중앙부 ... WPressure13.0 mTorrSF60.5AMNAutoFIXED TIME1m30sAr30.0Helium CoolingO20.0PROCESS STEP Ⅳ (Deposition Step ... ): Wafer를 관통시킬 수 있지만 scallop 현상이 일어나 등방성 식각이 일어나므로 scallop을 줄이기 위해 Etch하기 전 실행시킨다. 다음 조건과 같이 설정되었는지 확인

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.03.29

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