식각(Etching) 이란? 건식 식각(Dry Etching) 이란? 이온 식각(Ion Etching) 이란? 이온빔 식각(Ion Beam Etching) 이란? CAIBE 방식 ... 이 이루어진다. 식각 공정은 식각 형태와 식각 방법에 따라 다음과 같이 분류된다.식각(Etching) 이란?식각의 종류식각 형태에 따른 분류 등방성 식각 (Isotropic ... Etching) 이방성 식각 (Anisotropic Etching)식각 방법에 따른 분류 습식 식각 (Wet Etching) 건식 식각 (Dry Etching)건식 식각은 크게 웨이퍼 표면
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