"Vacuum Chamber(진공 챔버)"의 검색결과 입니다.

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스퍼터링 electrostatic chuck LPCVD 이온 플레이팅 dry etching

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"Vacuum Chamber(진공 챔버)" 검색결과 1-20 / 26건

플라즈마 멸균기용 진공 챔버의 설계 및 평가 (Design and Evaluation of the Vacuum Chamber for Plasma Sterilizer)

한국기계기술학회 신준, 이태연

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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열진공 챔버용 극저온 블로워 설계 및 성능평가 (Design and Performance Tests of a Cryogenic Blower for a Thermal Vacuum Chamber)

한국항공우주학회 서희준, 조혁진, 박성욱, 문귀원, 허환일

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.11 | 수정일 2025.06.16

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열진공 챔버용 폐회로 열제어시스템 설계 및 성능평가 (Design and Performance Test of a Closed Loop Thermal Control System for Thermal Vacuum Chamber)

한국항공우주학회 서희준, 조혁진, 박성욱, 문귀원, 정상헌, 허환일

논문 | 10페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.10 | 수정일 2025.06.16

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진공 챔버 내 저온 환경 모사를 위한 스테인리스 스틸 튜브-구리 플레이트 타입 열 쉬라우드 제작 및 테스트 (Manufacturing and Testing of Stainless-Steel-Tube–Copper-Plate Thermal Shroud for Cryogenic Temperature Simulation in Vacuum Chamber)

대한기계학회 정태일, 강상백, 유용호, 신휴성

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.29 | 수정일 2025.06.05

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1-2 AMOLED Tooling Process & 막 두께 측정 report (A+)

는 것이다.진공의 범위-Various vacuum range이번 공정에서 사용하는 Vacuum Chamber에서의 진공은10 ^{-6} SIM 10 ^{-7}Torr 정도를 가진다 ... 로 이동한다.5.Chamber안의 내부는 고진공이기 때문에 저진공에서 고진공으로 잡아줘야한다.Low vacuum은 까지이고 High vacuum은 10^5~10^8까지이다.우리 ... 들 중 이번에 우리는 Vacuum Evaporation 공정을 하였다.Vacuum Evaporation은 진공으로 된 Chamber에 증착물을 가열하여 기체화 시켜 기판위에 증착

리포트 | 10페이지 | 10,000원 | 등록일 2023.07.30

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위성 열평형 시험에서 챔버 벽 영향에 관한 연구 (A Study on Chamber Wall Effect in the Satellite Thermal Balance Test)

한국항공우주학회 김동운, 장영근

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.10 | 수정일 2025.05.18

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진공 아크 용해로를 이용한 비정질합금 제조

.⑤ 다성. 비정질 합금 제조 시 버튼형의 둥근 비정질 합금이 형성된다.① Vacuum System 진공 개략도챔버 내부를 진공으로 만드는 방법은 먼저 Chamber벨브를 잠그고 난후 R ... 이 Chamber에서 DP로 이동하게 되고 공기가 DP를 거쳐 RP로 이동한다. DP에서10 ^{-5}torr까지 진공을 빼낸다. 용해를 하기 위해 다시 H/V를 잠궈 주고 Chamber ... 가 장착되어 있으며, 오일 위로는 몇 단에 걸쳐 노즐이 달린 굴뚝(chimney)이 중앙부에 설치되어 있다. 펌프의 상부는 진공챔버 쪽 배관과 연결되어 있으며 하부 쪽에는 배기를 위해

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.02.01

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진공증착레포트

진공 증착(Vacuum evaporation)진공증착이란, 금속이나 비금속의 작은 조각을 진공 속에서 가열하여 기화된 그 물질을 타켓 물체 면에 부착시키는 것 입니다.고진공에 놓 ... .Thermal EvaporationThermal Evaporation(저항열을 이용한 Evaporation)은 증착시키고자 하는 물질을 고진공 챔버에 넣고 가열함으로써 증착물질을 증발 ... 하고, 진공상태에서 저항 열이나 전자 beam, laser beam 또는 plasma를 이용하여 고체상태의 물질을 기체 상태로 만들어 기판에 직접 증착시키는 박막 제조 방식입니다

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.04.11

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진공펌프레포트

진공 펌프(Vacuum Pumps)펌프란 전동기나 내연기관 등의 원동기로부터 기계적 에너지를 받아서, 액체에 운동 및 압력에너지를 주어 액체의 위치를 바꾸어 주는 기계입니다 ... 펌프는 이름과 같이 기름이 발라진 회전하는 날개를 이용해 챔버 내의 기체 분자들을 외부로 배출하는 가스 배출 방식으로 진공을 만들어냅니다.우선 펌프의 구조를 살펴보면 펌프 겉면 ... (Stator)에는 기체 분자가 들어오는 흡입구(Inlet)와 밖으로 나가는 배출 밸브(Exhaust Valve)가 있고, 펌프 안에는 원통형의 챔버(Chamber)가 있고 챔버 안

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.04.11

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고고도 모사용 초음속 디퓨져의 시동압력에 대한 연구 (Study on Starting Pressure of Supersonic Exhaust Diffusers to Simulate high Altitude Environment)

한국추진공학회 윤상규, 염효원, 김진곤, 성홍계, 김용욱, 오승협

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.16 | 수정일 2025.05.10

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멸균교육자료 1

② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦1. Evacuation(공기제거) : 진공상태에서 습도는 ? 2. Vacuum hold (leak test) 진공유지 3. Conditioning(조절) ---- 습기 ... (Aeration) : 의료기기로부터 에틸렌옥사이드 그리고/또는 그 반응물이 미리 정한 수준까지 없어지는 멸균 공정의 일부. 참조: 이것은 멸균기내에서 그리고/또는 별도의 챔버나 공간에서 수행 ... Gas가 반응하면서 처음 E.O Gas가 챔버안으로 투입이 되고 끝나는 단계의 기간 • 노출시간(Exposure time) : 공정변수가 기술된 허용범위 내에 유지되는 기간

리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.11.03

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반도체 공정 term project

면 Vacuum Chamber내에 Ar gas와 같은 불활성기체를 약 2~5mTorr 넣는다. 음극에 전압을 가하면 음극에서부터 방출된 전자들이 Ar기체원자와 충돌하여, Ar을 이온 ... DC/RF sputteringAbstarct(혹은 초록)Sputtering은 Chamber내에 공급되는 가스에서 발생되는 전자 사이의 충돌로부터 시작된다. 그 과정을 보 ... . Pumping : 챔버에서 연결된 배출구로 펌프가 연결되어 있는 부분이다. 1차, 2차 펌프가 연결이 되어있다. 이 부분에 콕 형태의 밸브가 달린 것도 있다. 가스밸브 처럼 90도

리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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고고도 환경 모사용 축소형 디퓨저 설계 및 시동특성 연구 (An Experimental Study on Design and Starting Characteristics of a Sub-scale Diffuser for Simulating High-Altitude Environment)

한국추진공학회 이양석, 전준수, 고영성, 양재준, 김정훈, 김선진

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.01 | 수정일 2025.05.15

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액체로켓엔진 연소기를 이용한 고고도 환경 모사용 디퓨저 시동특성 연구 (An Experimental Study of a Diffuser Starting Characteristics for Simulating High-Altitude Environment by using a Liquid Rocket)

한국항공우주학회 고영성, 이양석, 전준수, 김유, 김선진

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.01 | 수정일 2025.05.15

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화학 증착법(CVD)에 대한 조사[정의, 원리, 응용, 특성, 종류 등]

적으로 부착된다. 단 Reaction Chamber 내부는 모두 고온 상태로 유지된다.- Reaction Chamber가 Vacuum이 아닌 대기압 상태의 공정이 진행됨에 따라 정상적인 ... Deposition)의 정의- 외부와 차단된 챔버 안에 기판을 넣고 증기 상태의 가스를 공급한 뒤 열, 플라즈마, 빛(UV or LASER) 또는 임의의 에너지에 의하여 분해를 일으켜 ... 내에서 일정 기간 동안 보관할 수 있을 정도로 안정해야 함.- 외부로부터 장비 안으로 주입된 원료 기체(Reactant gas)는 저장용기에서 밀어내는 압력과 진공펌프의 배기압력

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.01.06

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복합재료 보고서

그 Top piate를 올려놓는다.진공상태를 유지하기 위하여 Sealant를 전 둘레에 붙이고 Cork dam을 올려 놓는다.Vacuum back film 중앙에 구멍을 뚫고 공기가 새 ... 다.③ Curing 작업 (Auto-clave 작동) 방법ａ. 밀봉하여 준비된 시편을 Chamber 안에 넣고 진공 호스를 끼운다.ｂ. 문은 닫지 않는다.ｃ. 진공 밸브를 화살표 방향 ... 을 뺀다.공압 밸브를 화살표 방향으로 열어 압력을 제거한다.ｓ. 히터1, 히터2, 팬, 쿨링, 진공펌프를 끈다.ｔ. 주 전원 스위치를 끈다. 끝나면 챔버의 압력을 뺀다.ｕ. 진공밸브

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.04

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DRY ETCHING

를 사용하여 반응을 일으킴으로 대기 상태일 때의 다른 불필요한 기체들이 존재하면 안된다 . 그래서 가공공간인 Chamber 내부는 될 수 있으면 고진공 (High Vacuum) 상태 ... 에 놓아서 이 코일에 교류전류를 가하여 발생된 시간에 따라 변화하는 자기장이 챔버 내부의 플라즈마에 침투하게 된다 . 이 자기장을 이용하여 외부의 코일에 가하는 전력이 챔버 내부 ... 하는 원를 만든다 . 대기상태의 압력은 760Torr 이며 식각이 이루어 지는 Process Chamber 내부는 보통 100mTorr 이하 저압력 . 압력 (Pressure

리포트 | 26페이지 | 3,000원 | 등록일 2013.05.21

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스퍼터링 실험실 설계

챔버를 배기한다 – 도달압력은 낮을수록 원하는 막질제어가 가능하다. • 진공챔버 4E-1～1Pa정도의압력에 Ar Gas를 도입, 안정화 시킨다. – 압력은 막질( 응력등 ), 막두께 ... ), 레이드의 회전에따른 분자들의 움직임일반형 진공펌프 제조사 : Ulvac 판매사 : 4science Vacuum Pumps, G-series, with Two-Stage ... , Direct Drive Oil Sealed Rotary Type, 일반형 진공펌프, 직결형, 6 Lit. to 120 Lit. ■ Double stage vacuum pumps

리포트 | 54페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.03.28

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스퍼터링

에 평균적으로 이동하는 거리(mean free path)를 짧게 하므로 충분한 에너지를 가지도록 가속되지 못하므로 이온화를 방해하는 결과를 초래한다.4)진공(Vacuum)-실제로 ... 진공질이 더 적으며 순수한 진공이 되지만 플라즈마가 발생하기 위한 Ar과 같은 불활성 가스가 부족해 플라즈마 생성이 원활하지 못하게 된다. 즉, 고 진공시 Chamber 내에 Ar ... .⑧purging 작업으로 상승한 압력을 로터리펌프를 이용해 다시 중진공 상태로 만든다. 그 후 CRYO펌프를 이용해 고진공 상태로 내린다.⑨pre sputtering - 챔버내

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

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고진공_및_잔류가스_분압_측정

는데, 그렇게 하면 기생 peak가 나타나지 않을 것이다.6.3. 진공 Chamber에 액체 질소를 뿌려서 냉각시키는 경우실험은 하지 못했으나, 액체 질소로 챔버의 온도를 낮출 때 분 ... 실험 장치① UHV chamber(Ultra High Vacuum) : 보통 고진공을 만들 때는 Turbomolecular pump가 주로 사용되는데,torr 정도의 초고진공을 만들 ... 다가에 도달하면 잔류가스를 분석한다.3.2.2. Helium을 이용한 Leak Test① 헬륨 밸브를 연다. leakage test mode를 선택하고, 진공 챔버, 밸브 주변

리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.11

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