로써 local composition model이라고도 한다. 두 가지 이상의 물질이 혼합되어 있는 경우 이상 용액으로부터 벗어나는 현상을 3개의 Interaction parameter ... 적으로 이루어지도록 설계된 것으로, 탑 내를 Tray로 구분하여 증기와 액의 접촉이 각 단에서 행해지 는 장치이다. Tray 형식으로는 Bubble Cap형, 다공판형(Sieve ... , Perforated Tray), Valve형이 있다.? bubble cap: 가장 효율적인 분리장치지만 값이 비싸다.? sieve tray: 단순히 상승 증기가 tray에 걸쳐 액체로 전달
SOURCE (6) PRECURSOR 공급방식에 의한 분류 - Conventional gas delivery system : gas source, bubbling - Liquid ... effect * Deposition parameter 1. Deposition temp. Surface migration (increase with the temp.) result ... in a local averaging over the solid angle improve the step coverage 2. Total gas flow 3. s