"Large-size CMP"의 검색결과 입니다.

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"Large-size CMP" 검색결과 1-3 / 3건

Oscar형 연마기를 이용한 대면적 OLED용 LTPS 박막의 CMP 처리 및 세정 공정 개선 (Improvement of CMP and Cleaning Process of Large Size OLED LTPS Thin Film Using Oscar Type Polisher)

한국반도체디스플레이기술학회 심고운, 이현택, 송종국

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.10 | 수정일 2025.06.16

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[물리전자] 5.1.1 Thermal Oxidation~5.1.8 Metallization

lithographic process. As feature sizes decrease, their sensitivity to focus errors increases ... involves a high-speed stream of glow discharge of an appropriate gas mixture being shot at a sample ... oxidation is a way to produce a thin layer of oxide (usually silicon dioxide) on the surface of a wafer

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.04.01

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[공학]Characterization of Scratches Generated by CMP

- In the Al CMP, the micro-scratches were small and the removal rates were large whenthe slurry pH ... was 2~4 and the H2O2 concentration was 1~3 vol.%- The micro-scratch size and removal rate increased ... formation of triangle scratches during processing on platen 2 and 3.- The larger particle size and higher

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.14

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