ITO Pattering 공정1. 실험목적? OLED 소자의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 모양으로 식각하는 법을 습득한다.? Photolithography에 사용하는 각 ... 공정의 원리와 공정 시 주의점을 습득한다.2. 이론ITO pattering ⇒ Cleanig(표면개질) ⇒HMDS/PR coating/Softbaking⇒ Expose ... ⇒ Develop/ Hardbaking ⇒ Etching ⇒ Strip ⇒ Inspection1. ITO pattering ⇒ Cleanig(표면개질)저분자 혹은 고분자물질을 적용한 모든