하며 (a) 관찰시스템 (Viewing sys) (b) 기록시스템 (Recording sys)TEM Vacuum system (c) (b) (a) (d) a) Rotary lobe ... Filtered TEM) EDX EELS SADP ( Selected Area Diff.) Micro Nano CBED (Convergent beam Electron Diff.)명시 ... 야상과 암시야상의 차이회절패턴 (Diffraction Pattern) 단위 세포의 형태와 크기 , 그리고 시편 내 결정체 (grain) 의 방향을 분석한다 . 결정 내 원자