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"Asphericity coefficient" 검색결과 1-3 / 3건

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[반도체공정] EUV Lithography Term paper (영문작성)

material is possible, but its thermal expansion coefficient is 19ppm/℃. It is too large comparing to ... reflect EUV light. Therefore, EUVL uses concave and convex (i.e. aspheric) mirrors coated with multiple ... ceremony for EUV line was held at Samsung Electronics’ campus in Hwaseong, which is under c

리포트 | 17페이지 | 3,500원 | 등록일 2025.02.03

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