량이 길이의 몇 제곱에 비례해서 작아지는가를 나타내는 법칙이다.3. 기존 머시닝기술 (conventional machining technologies)과 비교하여 마이크로머시닝 ... 로 미세 가공하는 기술을 마이크로머시닝이라 말한다. 마이크로머시닝기술은 센서, 액추에이터(actuator) 등 소형 기계 구조물에 반도체, 기계, 광 등 초정밀 반도체 제조 ... 으며, 최근에는 인터넷 등 정보통신기술과 연계되어 미래의 정보화시대에 핵심기술로서 각광받고 있다.마이크로머시닝기술로 구현된 MEMS 센서는 아주 작게 만들 수 있다는 것이 가장
차 타이어용 압력센서를 개발하기 위해 박막 물질로서 적용될 티타늄 멤브레인의 기계적 특성이 연구되었다. 제작공정으로 기존의 마이크로머시닝공정과 적층 공정기술이 동시에 적용 ... 전자재료 물성실험 예비레포트압력단위, MFC와 sccm 및 Ti박막의 용도 조사목차1.압력 단위1.1Torr1.2기압1.3Pa2.MFC(질량 유량계)2.1질량 유량계의 정의2 ... 되었으며, 티타늄 멤브레인 기반의 압력 센서가 설계, 제조 및 특성화 되었다. 마이크로머시닝 공정을 통한 티타늄 멤브레인과 기판의 접합 제조과정은 30분 동안의 20 MPa의 압력