A+ 기계공학 응용실험 MEMS 실험 예비 레포트 (예비 보고서)

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2020.09.11
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2019.12
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지방거점 국립대학교 기계공학부
기계공학 응용실험 A+
MEMS 실험 예비레포트 (예비 보고서)

목차

1. 전도도의 관점에서 재료는 세 가지로 구분할 수 있다. 세 가지 재료에 대하여 설명하고, 이중 MEMS에서 주로 사용하는 재료에 대해서 자세히 기술하시오.
2. MEMS 기기의 길이 규모는 일반적으로 1um~1cm이다. 크기가 작은 기기의 작동상 장점과 스케일링 효과(scaling effect)에 대하여 설명하시오.
3. 기존 머시닝 기술 (conventional machining technologies)과 비교하여 마이크로 머시닝 기술(micromachining techniques)의 가장 중요한 차이점에 대하여 설명하시오.
4. 마이크로머시닝 기술은 제작 방법에 따라서 두 가지로 분류된다. 두 가지 마이크로머시닝 기술에 대하여 설명하시오.

본문내용

1. 전도도의 관점에서 재료는 세 가지로 구분할 수 있다. 세 가지 재료에 대하여 설명하고, 이중 MEMS에서 주로 사용하는 재료에 대해서 자세히 기술하시오.
- 실리콘 Si
실리콘 4가의 원소로 규소의 단결정은 트랜지스터나 다이오드, 사이리스터 등의 반도체 소자나 IC를 만들기 위한, 전자 공학에서의 기본적 재료이다. 값싸고 질좋은 물질의 이용가능성과 전기적 기능성의 장점덕분에 실리콘은 MEMS 분야에 다양하게 쓰인다. 실리콘의 물질적 특성들 덕분에 상당한 이점을 가진다.
단일 수정 구조 안에서 실리콘은 거의 완벽한 후크의 법칙을 만족하는 물질이다. 실리콘의 이러한 특징은 고도로 반복 가능한 움직임뿐만 아니라 물질에 대한 피로가 거의 없고 10억에서 1조 만큼의 수명을 가지게 하므로 운용가능하다. 매우 고순도의 실리콘이 요구되므로 화학적으로 정제한 것을 다시 물리적으로 정제하여(플로팅 존 정제법) 만든다.
- 폴리머
최근 탄성 중합체, 플라스틱, 섬유 등을 포함하는 고분자 소재가 MEMS 센서 및 액츄에이터에 적용되기 위해 활발히 연구되고 있다.

참고 자료

기계공학 응용실험 | 전남대학교 기계공학부 | 2019.09.

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