압력단위, MFC와 sccm 및 Ti박막의 용도 조사

목차

1. 압력 단위
1) 1Torr
2) 기압
3) Pa

2. MFC(질량 유량계)
1) 질량 유량계의 정의
2) 직접형 질량 유량계
3) 간접형 질량 유량계

3. SCCM

4. Ti 박막의 용도
1) 박막 컬러코팅 (Thin film - Color coating)
2) 티타늄 박막을 이용한 자동차 타이어 압력센서
3) 티타늄 박막을 흡수층으로 적용한 마이크로볼로미터

본문내용

1. 압력단위
SI단위에 있어서 압력 p의 단위는 파스칼(㎩)로 정해져 있다. 1㎩는 1평방미터(㎡)에 대하여 1뉴턴(N)의 힘이 작용하는 압력(N/㎡)이다. 압력은 각 분야에서 관용적으로 여러 가지 단위가 사용되어 오고 있으며 다음과 같은 것이 있다. 또 특히 구별하여 게이지 압을 나타내는 경우는 Pe, Pg가 쓰이고, 절대압을 나타내는 경우는 ㎩가 관용적으로 사용된다

1.1 Torr
압력의 단위. 기호는 torr이며, mmHg와 거의 같은 값을 갖는 단위이다. 표준대기압(1,013,250dyn/㎠)을 760torr로 정의하며, 진공 분야에서 많이 사용된다. E.토리첼리의 이름을 딴 것이다. 기호 torr. 표준대기압, 즉 1,013,250dyn/㎠(다인 퍼 제곱센티미터)를 760torr로 정의한다. mmHg와 함께 SI단위는 아니며, 진공 분야에서 많이 사용된다.
1torr = 1mmHg = 133.322N/m2(뉴턴 퍼 제곱미터) = 133.322Pa(파스칼) = 1.333224mbar(밀리바)

1.2 기압
기압(氣壓,기호: atm)은 압력의단위로, 지구 해수면 근처에서 잰 대기압을 기준으로 한다. 1기압은 101325 Pa, 760 mmHg이다.

참고자료

· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=656827&cid=42338&categoryId=42338 압력의 정의-센서용어 사전
· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1153049&cid=40942&categoryId=32227 토르-두산백과
· 파스칼-광물자원용어사전
· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=657302&cid=42338&categoryId=42338질량 유량계 [mass flowmeter, 質量流量計] (센서용어사전, 2011. 1. 20., 손병기)
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· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=656073&cid=42338&categoryId=42338각운동량식 질량유량계 [angular momentum mass flow-meter, 角運動量式-] (센서용어사전, 2011. 1. 20., 손병기)
· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=657415&cid=42338&categoryId=42338터빈 질량유량계 [turbine mass flowmeter, -質量流量計] (센서용어사전, 2011. 1. 20., 손병기)
· https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=656477&cid=42338&categoryId=42338미분탄 유량계 [pulverized coal flowmeter, 微粉炭流量計] (센서용어사전, 2011. 1. 20., 손병기)
· http://dic.impact.pe.kr/ecmaster-cgi/search.cgi?kwd=cubic SCCM이란
· http://kiss.kstudy.com/thesis/thesis-view.asp?key=3354669산학 연계 교육 : 티타늄 박막을 이용한 자동차 타이어 압력센서
· http://www.riss.kr/search/detail/DetailView.do?p_mat_type=be54d9b8bc7cdb09&control_no=48d912acac801348ffe0bdc3ef48d419&outLink=K#redirect비냉각 적외선 검출기용 비정질 실리콘 마이크로 볼로미터의 제작 및 특성에 관한 연구 = A study on Fabrication and Properties of Amorphous Silicon Microbolometer for the Uncooled Infrared Detector학위논문(박사)-- 가천대학교 대학원 : 전기전자공학과 2013. 2 강태영