"급속열화학증착법"의 검색결과 입니다.

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반도체 공정 4-point probe CFRP 반카본 그래핀 신소재 led

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"급속열화학증착법" 검색결과 1-20 / 59건

Sapphire(1102) 위에 성장된 단결정 실리콘의 결정성 향상을 위한 열산화막 공정 (Thermal Oxidation Process for Enhancing the crystallinity in Silicon-on-Sapphire () Epilayers)

한국물리학회 차정호, 김득영, 박찬진, 권영해, 조훈영, 이연환

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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반도체 공학 과제 (반도체 기본 공정 기술)

한다, 기판에서 응축과정을 거친 뒤 도포된다. 열 증발법은 열적, 화학적 반응 이 적고 공정속도가 빠르고 단순하지만 증착된 박막 두께의 균일성이 좋지 못하거나 반응 시 항상 진공상태를 어렵다 ... 에 막을 형성하기 위해 정밀하고 세밀한 기술력이 필요하다. 증착공정의 가장 보편적인 종류에는 PVD, CVD, ALD 공정이 있다,PVD는 물리 기상 증착법으로 증착하고자 하는 급속 ... 을 진공속에 기화시켜 방해물 없이 기판에 증착하는 기법이다. 크게 세가지로 열 증발법, 전자빔 증발법, 스퍼터링 법 이 있다. 세 가지 모두 증착시키고자 하는 물질이 웨이퍼에 닿

리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.07.02

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[A+리포트] 그래핀의 이해 및 연구동향

을 환원시키기 위해 일반적으로 N2H4와 수소 등의 환원제를 사용하는 고온 열처리 과정을 거친다. 화학적 박리법을 통한 산화그래핀 생성과정과 전단응력을 이용한 산화그래핀 박리법최근 ... 2011년, 화학 증기 증착법으로 생성된 그래핀 필름으로 그래핀 섬유를 제조하는 새롭고 간단한 방법이 개발되었다. 적절한 표면 장력으로 용제의 증발을 제어함으로써 조정 가능한 형태 ... 고 지금까지 측정했던 물질 중 가장 강력할 뿐만 아니라 전기, 열, 기계, 전자, 광학적 특성이 뛰어나서 가장 매력적인 나노 물질이다. 높은 특정 표면적, 높은 화학적 안정성, 높

리포트 | 23페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.11.16

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Thermal Process, 열공정, 반도체 공정 정리 레포트

하면서 캐패시터의 크기를 줄일 수 있다.폴리실리콘 증착은 실란(SiH4) 화학을 사용한다. 고온에서 실란은 해리되고 실리콘은 가열된 표면에 증착 될 수 있다. ( SiH4 → Si + 2 ... 층을 허용하는 고유전율을 갖는 유전체로 변경되었다. 원자층 증착법은 고유전체 증착법으로 가장 많이 사용되는 방법으로, RTA 공정을 이용하여 막의 품질을 향상시키고 계면 상태 전하를 감소 ... 을 가진 단일 웨이퍼 냉벽 처리실에서 수행되는 열 CVD 공정이다. 단일 웨이퍼 시스템이기 때문에 박막 증착을 1 ~ 2분 이내에 완료할 수 있을 정도로 증착 속도가 높아야 시간

리포트 | 25페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.02.09

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Au-Si 나노점을 촉매로 성장한 Si 나노선의 구조 및 광학적 특성 연구 (Structural and optical properties of Si nanowires grown by Au-Si island-catalyzed chemical vapor deposition)

한국진공학회 이연환, 곽동욱, 양우철

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.09 | 수정일 2025.07.11

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강의 일반 열처리에 대해 조사하시오

경화법,고주파 경화법,쇼트피닝,하드페이싱 등이 속해져 있다.마지막으로 기타 표면 경화법에는 CVD법(화학증착법),PVD법(물리증착법)등이 있다.열처리가열 온도 및 냉각 방법담금질 ... 는 서서히 승온 하는 것은 열전도도가 낮은 재료이고 급속으로 가열 하는 것의 종류에는 고주파 담금질,화염 담금질 등이 있다.유지시간은 재료의 종류 및 질량에 따라서 각 재료마다 각각 ... 가를 분류하자면 화학적,물리적,기타 표면경화법등 여러 가지로 구성할 수 있다.먼저 화학적 방법에는 침탄법,질화법,가스침탄법,금속침투법등 4가지가 속해져 있다.물리적 방법에는 화염

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.12.24 | 수정일 2025.07.10

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집적회로 소자 공정, 반도체 소자 제작 공정 실험 예비보고서

이 있다. CVD은 박막재료를 형성하는 원소를 포함하는 가스를 기판위에 공급하고 열분해, 광분해, 산화환원반응, 치환 등의 화학적반응으로 박막을 형성하는 기술로서PECVD ... 하고자 한다. 면 저항 및 dimension에 의한 저항의 설계를 통해 마이크로 히터(Micro-heater)를 설계/제작하도록 한다.반도체 소자 제작을 위한 용액 공정, 기상 증착 ... 100Å에서 1цm정도를 측정할 수 있다. 전류는 최대 10mA로 제한되고 있으며, 이는 probe tip에 미치는 열 영향 및 excess current density 때문이

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2021.09.25

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[냉동공조에너지실험]태양광 발전기

는 태양전지 제조시에 소요되는 공정을 현재 16시간에서 1시간대 이내로 단축하는 공정단순화, 대량생산용 연속 제조공정, 저온 급속 열처리 공정 개발과 고효율을 달성하기 위한 표면처리 ... (Voc) 를 나타낸다. 몰리브덴(Mo) 으로 코팅된 유리기판 위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical ... bath deposition, CBD 또는 "Dip-Coating") 으로 입히고 투 명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft ^{2} 모듈

리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2020.05.09 | 수정일 2020.08.12

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용접 용어 정리

hape다. 특히 용접 또는 열절단에 의해 열영향부를 받지 않은 부분을 용접금속이나 열영향부와 대비하여 모재라고 부른다.증착 혹은 표면개질 등에서는 피가공물을 모재라고 부른 경우가 있 ... 하면 발생하는 용접부의 균열을 말한다. 주로 용접금속에서 발생하지만 열영향부의 부분용융역에서 발생하기도 한다. 고온균열은 표에 나타낸바와 같이 발생온도 및 장소, 발생원인, 형태 등 ... 도 한다. 비드균열은 종균열(longitudinal crack), 횡균열(transverse crack), 호상균열(弧狀, arc-like crack)로 구분된다. 먼저 종균열은 비드

리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2020.08.27

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OLED 시장 패널

기술OLED는 다층 박막 적층형 구조를 가지고 있으며 재료의 분자량에 따라 제조 공정이 달라지게 된다. 열진공증착법은 분자량이 낮은 저분자 재료에 적합한 공정으로 10-6 ... torr 이하의 고진공에서 재료에 열을 가하면 재료가 기체화되어 챔버 내부에서 분산되어 상대적으로 온도가 낮은 기판에 응축되어 박막을 형성하는 공정이다. 열진공증착법은 소자의 높은 수명 ... 과 수명 특성을 함께 구현하기 위해서는 전기적, 화학적, 열적으로 안정한 신규 화학 구조의 발광 재료 및 호스트 재료 개발이 필요하다. 또한 고효율 특성을 나타내기 위해서는 발광

리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.10.13

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graphene의 모든것

가지로 분류되는데 기계적 박리법, 화학적 박리법, 화학증기증착법, 에피택시법 등이 있다. 이 중 화학적박리법과 화학증기증착법이 가장 널리 사용되고 있으며 이 두 가지 방법이 그래핀 ... 다.3. 화학증기증착법(CVD) ; Bottom-up approach금속 촉매를 사용하는 화학 증기 증착법은 대면적 그래핀의 생산에 크게 기여한 방법으로 평가 받고 있다. 이 방법 ... 에화학적 증착법에 의해 성장된그래핀보다 특성이 뛰어나지 못하며 재료가 비싸고 제작이 어렵다는 단점이있어 이를 극복하기 위한 연구가 진행 중이다.그래핀 응용 분야1. 차세대 반도체

리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.03

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면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험

를 제거합니다.6. wafer 본래의 저항률을 갖도록 하기 위해서 Boron Gas 분위기에서고온으로 장시간 열처리를 한 다음에 급속 냉각을 합니다.7. 거칠어진 wafer 표면 ... 1. Title (실험 제목)-면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험2. Objectives (실험 목적)- 웨이퍼 위에 증착된 물질의 면 저항을 측정 ... 하여 면저항 측정기의 원리를 이해한다.3. Experimental procedure (실험 방법)(1)웨이퍼 위에 박막으로 물질을 증착한다.(2)시편을 절단 후 면저항을 측정한다.(3

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.12.13 | 수정일 2014.11.16

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PVD

와 증발원 재료가 직접 접촉하는 방식 저항 가열식 진공증착법 (Thermal- heating evaporation) 7구동원리 고융점의 filament, basket 또는 boat ... 등의 열적 source 필요 ( 열적 source 재료 : W, Mo, Ta 등 ) 위 금속들로 만들어진 박 또는 선을 적당한 형상으로 증발원을 만든다 . 증착 재료를 놓고 증발원 ... 에 전류를 흘려 가열하여 증발 시킴 . 8 저항 가열식 진공증착법 (Thermal- heating evaporation)증발원재료 선택시 고려해야 할 점 1. 융 점 ; 박막재료

리포트 | 77페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.12.24

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탄소계 나노소재 기반의 플렉서블 전극 기술 동향

지는 못하다. 그 외에도 촉매금속에 메탄(CH4), 수소, 아르곤 등의 가스를 주입하여 그라핀을 성장시키는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposion) 성장법과 그라핀 산화물 ... (graphene oxide)를 이용한 화학적 합성법, SiC(실리콘 카바이드)와 같은 탄소 소재의 기판을 고온 분위기에서 열처리하여 그라핀을 합성하는 에피텍시 합성법 ... (epitaxial growth) 등이 있다. 하지만 화학적 합성법과 에피텍시 합성법은 기계적 박리법이나 화학기상증착법에 의한 그라핀 보다는 그 특성이 우수하지 못하다는 단점이 있

리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2012.11.04 | 수정일 2016.09.05

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박막형 태양전지의 성장성 (태양전지의 기술, 차세대 친환경 에너지)

) 으로 코팅된 유리기판 위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD 또는 ... "Dip-Coating") 으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한 후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있 ... 의 합성이 쉽다는 점이다.현재까 지 다양한 방법, 즉 근접승화법(Closed-Spaced Sublimation, CSS), 진 공증착법, 전착법, screen printing, s

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.02.18

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CNT (carbon nanotube)의 특성과 제품 개발 연구

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????12p 열화학 기상 증착법 ... ???????????????????11p 플라즈마 화학 증착법 ... 로 혼합시킨 graphite를 target으로 사용하면, 균일한 단일벽 탄소(rope)의 형태로 존재한다. ) 레이저 증착법2.3.3플라즈마 화학 증착법 (Plasma Enhanced

리포트 | 29페이지 | 3,000원 | 등록일 2009.01.01

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반도체 나노와이어 특성 및 원리

)이나 태양열을 나노와이어를 통해 전기로 전환하는 것에 대해 연구하고 있다.[나노와이어 성장-제조법]나노와이어의 크기와 방향을 조절하는 나노와이어 제조 기술이 근래에 와서야 조금 ... 효율적인 분야 가운데 하나로 평가된다. 나노와이어는 레이저나 트랜지스타, 메모리, 화학감지용 센서(감지기) 등 다양한 분야에 쓰인다. 여기에 사용되는 소재는 반도체 실리콘(규소 ... )이나 화학적으로 민감한 주석 산화물, 발광반도체인 갈륨질화물 등이다.아직은 초보단계에 머물러 있지만, 현재 나노와이어 제조기술은 소재의 길이를 자유자재로 조절할 수 있는 수준까지 발전

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.14

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OLED의 개요, 핵심기술, 기술개발 동향, 개선점 및 관련특허분석, 시장분석

디스플레이 소자 증착 장치수율전기화학적 증착을 통한 유기발광소자의 유기박막층 형성방법수율대면적 유기소자 생산용 벨트형 증발장치의 제작과 응용대면적화하향식 열적 유도 증착에 의한 선형 ... 디스플레이공학OLED를 주목하라!21세기에 들어서면서 현대는 급속히 정보화 사회가 되어가고 있다. 인터넷의 급속한 발달로 다양한 형태의 정보전달이 가능해지고 있으며, 이를 구현 ... 을 과 같은 말이다. 또한 이러한 유기물의 수명은 OLED 구동 시 발생하는 열에 의해서 그 수명이 더 짧아지기도 한다. OLED가 대면적 디스플레이로 승부를 보려면 장시간, 장수명

리포트 | 28페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.01.26

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반도체 용어 정리

Vapor Deposition ☞ 유기 금속 화학 증착법화학 반응을 이용하여 기판상에 금속 산화막을 형성하는 박막 형성법. 저압 (200~700mm Torr)의 반응 용기 내에 단순한 ... 열 에너지에 의한 화학반응을 이용 박막을 증착하는 방법. 진공으로 된 통 안에서 가열된 기판에 증기압이 높은 금속의 유기 화합물 증기를 보내어 그 금속의 막을 기판에 성장 ... 로는 wurtzite 구조를, 준안정상태로는 Zinc-blende 구조를 가진다.6. LPCVDLow Pressure Chemical Vapor Deposition ☞ 저압 화학 증착법

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.23

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염색화학- 기능성 염료 - 근적외선 흡수 염료 ( 광디스크 이용)

흡수(색, 근적의 흡수, 다색성), 광방사(형광,인광), 광전도성, 가역변화 (열,광,PH),화학 반응성 등이며, 이들의 특성과 기능이 색소를 광과 전자 분야에 관련되는 재료 ... 외광을 강하게 흡수해야 한다.2) 대부분의 경우 산공 증착법에 의해 기록층을 만들므로 균일한 두께의 색소층을 형성하기 위해서는 승화성이 큰 색소가 바람직하다.3) 내구성 내환경 ... . Phthalocyanine 은 각종 금속과 안정한 착제를 형성해 옛부터 유기안료로서 사용되어 왔다. 열 안정성 내구성 승화성이 뛰어나기 때문에 진공증착에 의해서 박막을 형성 시킬 수 있

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.01.10

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