, Hankook Univ.)2 서울과학기술대학교 기계자동화공학과 (Department of Mechanical Engineering, Hankook Univ.)3 광운대학교 전자 ... 감 코팅 막의 두께에 비해 감광액의 소모량이 너무 많아 비효율적이며, 기판의 크기가 커서 상대적으로 무거운 TFT-LCD용 기판과 같은 대형 기판을 고속으로 회전시키기 위해서 ... 는 에너지 소모가 아주 많고, 기판의 파손 우려가 있어 웨이퍼와 같은 소형 기판의 코팅에 적합하다.4)5)스핀 코팅 방식은 막 두께 편차가 1% 이내로균일성이 뛰어나지만 생산
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