:기판에 엷은 금속 또는 금속화합물을 피복시킨다는 의미에서 박막(薄膜)제조기술(thin film technology)이라는 말을 많이 사용하고 있다.이 중 CVD 법은 피복하고자 하 ... 판표면으로 충분한 반응가스의 공급이 되어야 하며,3)반응생성물의 신속한 이탈이 되어야 한다.(3) 가스 조정시스템CVD 반응가스는 원료로서의 가스, 산화제 및 환원제로서의 가스 ... 진공 중에서 금속, 금속화합물 또는 합금을 가열증발시켜서 증발금속 또는 증발금속화합물을 목적물질의 표면에 응축하게 하여 박막:薄膜(thin film)을 형성시키는 방법을 진공증착법
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