"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 1,081-1,100 / 1,111건

잉곳, 반도체, 박막 제조 공정

할 능력을 가지고 있으며, 실험적으로 300 크기의 웨이퍼도 보고되어 있기 때문에 당분간은 크기에 대한 제한을 받지 않을 것이다.CZ 단결정 성장장치의 모양을 그림 5.2.1에 나타내 ... 되어 있는 막들을 화학적으로 제거하는데 이용되어 진다. 전통적인 화학적 세척법은 산(acid)으로 닦고 물로 세척하는 단계로 이루어진다. 화학적 세척법은 반도체 소자 내에 증착된 메탈 ... 실리사이드(metal silicide)나 알루미늄 등과 같은 박막의 손상 없이 세척을 하기 위해 반도체 소자 제작자들은 산의 종류나 농도에 많은 주의를 기해야한다.어떠한 처리

리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.12.27

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[강유전체] FRAM재료

에 사용되는 주요 재료로서 PZT 막은 대부분 "Sol-Gel"이라는 간단한 제조공정을 사용하여 입히고 있다. 그러나 DRAM 수준의 집적도와 양산성을 이루기 위해서는 본 실험실 ... 에서 연구하는 공정인 유기금속화학증착법을 이용하여 PZT를 제조해야 할 것으로 예상된다.2. SBT강유전성(ferroelectricity)은 1921년 Valasek에 의해서 ... 되어 고집적화, 고속화, 저소비전력화는 물론 비휘발성까지 겸비한 혁신적인 소자의 개발을 가능하게 했다. 1980년대 후반부터는 강유전체를 박막화하여 DRAM(Dynamic Random

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2001.12.01

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[화학공학]금속 산화물 및 질화물의 합성 및 특성 조사

질화알루미늄의 분말합성법과 박막합성법(화학증착법)을 실었다. 분말의 합성법 중에서 공업적으로 많이 사용되고 있는 합성법은 다음의 두 가지이다. 금속알루미늄을 고온에서 질소 혹은 ... 한 증거는 제시되지 못하고 있는 실정이다.3. 실험장치 및 시약고온( >1500℃) 튜브형 전기로 ; 알루미나 보우트 ; 삼각플라스크 ; Al(NO3)3?9H2O ; 숙신산 ; 요소 ... ; NH4Cl ; N2 기체4. 실험방법알루미늄의 숙신산 착물을 전구물질로 하며, 별도의 탄소의 혼합없이 질화반응을 시켜 AlN분말을 합성한다.4.1. 전구물질의 합성1ℓ용량의

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.10.26

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[디스플레이 공학]PDP기술전망

는데 이러한 고온배기의 MgO 활성화로부터 방전전압을 감소시키고 패널의 수명이 증가되는 효과를 얻고 있다. 형성방법을 보면 E-beam 증착과 스퍼터링법이 있는데 특성상의 큰 차이는 없 ... 에서는 샌드블라스트법에 의하여 격벽의 양쪽 측면에 전극을 형성하고, 격벽밑의 Y전극과 방전을 일으키게되는데 실험결과에 의하면 이들 격벽은 하전입자의 증식작용으로 하는 것으로 관찰 ... 상의 문제가 있으므로 실제 생산에는 적용하지 못하고 있다.또 다른 방법으로 박막의 2차 전자 방출특성이 향상된 코팅막을 형성하게 되면 효율을 크게 증가시킬 수 있으므로 현재 보호

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.07

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[통신,전자,나노] 박막소자,디지털통신,나노전자

☞ 제 3 공학관 101호 박막소자 연구실교수님 : 박 진 석박막소자연구실은 박진석 교수님의 지도하에1. SAW / FBAR Team2. Diamond Team3. CNT ... 하였다.1998년에 Ren 등이 플라즈마화학기상증착법을 사용하여 글라스기판위에 수직배향된 고순도의 탄소나노튜브를 합성시킴으로써, 탄소나노튜브의 합성과 응용기술면에서 획기적인 진전 ... 가 많이 요구되고 있는 상황이다.탄소나노튜브의 합성기술은 1998년을 기점으로 기존의 전기방전법, 레이저 증착법으로부터 CVD법으로 급격히 전환된 이후로, 위에서 기술된 현재의 기술

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.31

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[전기도금] 전기도금실험

1. 실험제목 및 목적Chemical Method 에 의한 박막증착 - Electroplating전기분해를 이용한 전기도금에 대해 알아보고 전기도금의 기본조건에서 전류밀도의 변화 ... 전기도금 실험에서 박막의 부착력을 증가시키는 첨가제의 역할을 한다.? [ 전하량(C) = 전류의 세기(A) × 시간(s) ] - 전류 세기가 증가 할 수 록 Cu의 석출량 ... 분석한다.2. 실험 준비? 준비물전류계, 교반기(Stirrer/Hot plate), 마그네틱 바, 온도계(50℃로 고정), 메스실린더, Al plate , Cu plate

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.04.25

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이력서, 자소서에서 면접 준비 그리고 면접 예상 질문까지

습니다.- 스킬 : 박막 증착 및 전기적 특성 기 기 등을 operating 한 경험이 있습니다.ex.- 영어 회화 능력- 이해력 부족-취업환경기회요인(Opportunity)위험 ... 하고자 한다.지식기술경험행동성향사고방식가치관동기강점(Strength)약점(Weakness)ex.- 계기 : 전공 수업 중 정보전자 재료 실험이라는 과목을 통해 반도 체 소자의 기본인

자기소개서 | 36페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.08.02

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[진공공학] 건식펌프

pump 를 사용할 경우 유기용매화 같은 물질이 pump 내부로 들어가는 것을 막아주기 위한 cold trap 을 실험장비와 pump 사이에 설치해야 한다.그러므로 oil pump ... , Dry Etching, 증착, 프라즈마 처리, 가스치환? 자동차.항공기,기계공업정밀주조, 소결, 증착, 함침, 이온, 질화, 배기가스? 기 타흡착수송, 공기수송, 성형, 농축기타다른 ... (박막증류)진공 시스템 - 농축, 증류, 용매추출? 화학공업 - 지방산증류, 석유유분 정제, 고분자화합물 정제? 의약품공업 - 비타민 정제 Plant? 식품공업 - 식품첨가제 정제공업,템

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.01.26

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[화학공학] 플러렌

’를 찾아내는 일이었다. 그러기 위하여 실험실에서 노르말 사슬(normal chain) 모양의 탄소 분자를 생성시켜, 우주에서 도달하는 다양한 마이크로파 신호와 비교하려고 하 ... 였다.1985년에 크로토의 실험에 협력한 것이 미국 라이스 대학의 스몰리였다. 스몰리는 '레이저 증발 클러스터(cluster) 분자선 장치’라고 불리는 장치로, 다양한 물질에 고에너지 ... 의 레이저를 쬐어 증발시켜 생기는 클러스터를 조사하는 실험을 하고 있었다. 클러스터는 수개에서 수백 개의 원자 또는 분자가 모여 생기는 미립자를 일컫는다. 크로토와 스몰리는 헬륨 가스 안

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.05.02

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[태양전지] 태양전지의 현상태와 전망

된 바 있으며 실험실에서는 17%를 상회하는 효율이 재현성 있게 기록되고 있다. CIS층은 진공증착 또는 금속막을 증착한 후 selenization공정을 거치는 2단계 방법 등으 ... 실리콘 태양전 지의 효율은 약 12%이상 그리고 모듈(module, 1평방 피트) 로서는 10% 이상의 고효율을 기록하고 있다.CuInSe2태양전지(CIS Cells)다결정 박막 ... (Mo) 으로 코팅된 유리기판 위에 p-type 반도체인 CIS층을 증착하고 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.03.07

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[화학공학]디아조화 반응 및 커플링반응

탄소환원질화법이 직접질화법에 비해 합성된 질화알루미늄의 순도, 습기에 대한 안정성, 소결성 등에서 뛰어난 것으로 알려져 있다.진공증착법이 사용되는이유기판에 손상을 주지 않으면서 고 ... 진공 하에서 순수한 박막을 얻을 수 있고, 코팅 후 건조시키는 용액코팅법보다 공정이 간단하다는 장점이 있기 때문이다.유기발광재료Alq3는 녹색 영역의 파장에서 발광을 하는 대표적인 ... 되는 모든 기구, 초자 및 배지에 존재하는 오염원들을 완전히 제거하여야 하는데 일반적으로 실험실에서 가장 흔하게 문제가 되는 오염원은 미생물이다. 따라서 현재까지 개발된 멸균법들은 모두

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.10.26

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EQCM 의 원리와 사용

] 그리고 표면의 질량변화를 감지 소자[4] 등 여러 분야에 적용되고 있다.수정진동자의 압전현상은 진공 증착시 시료 표면에 증착된 금속의 양을 감지하기 위하여 수정진동자를 이용 ... 한 QC출에 관한 보고를 하였다.[35] EQCM 실험시 반드시 검토해야 할 것은 용액의 점성도와 전극의 점탄성(viscoelasticity)에 의한 효과인데, 이에 대한 연구 결과 ... 하는 방향과 절단 각도가 있으며, 수정진동자의 두께와 전극을 형성하는 물질의 박막 두께는 고유 발진주파수에 영향을 미친다.[3] 먼저 수정진동자은 절단면에 따라 그 명칭이 다르

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2001.07.10

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[재료공학] 박막측정,기구

● 박막의 두께 측정 방법★ ESCA를 이용한 박막의 두께 측정박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다 ... . 그림에서 S는 박막 F를 입히는 데에 사용한 기질이고 O는 박막 위에 생긴 덧층(overlayer, 주로 진공 중에 존재하는 탄화수소로 인한 불순물 층)이라고 하자.l_f와l_s ... 는 각각 박막과 기질을 구성하는 원자로부터 나오는 광전자 신호의 세기이다. 이륙각 θ를 변화시킴에 따라 채집 깊이가 달라지며 이 때 박막의 두께 d는 이륙각 θ와 다음의 관계에 있

리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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[mems] MEMS에 대해서

를 결합하는 기술로서, 반도체 공정,특히 집적회로 기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 이용하여 ㎛ 단위의 초소형 센서나 액추에이터 및 전기 기계적 구조물을 제작 실험하는 분야이 ... 는 마이크로머시닝 기술은 크게 실리콘 bulk etching 에 의한 bulk micromachining 과 실리콘 위에 다결정 실리콘, 실리콘 질화막 및 산화막, 금속막등을 증착 ... 은 실리콘 기판 위에 구조층과 희생층을 증착하고 식각하는 공정을 통해 미세 구조물을 형성한다. 즉 희생층과 구조층을 기판 위에 형성시킨 후 희생층을 식각하여 구조층만 남게 하는 방법이

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2001.11.07

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YBCO초전도체 제조를 위한 CeO2버퍼레이어 제조

되어야 한다. {`^{ 1) }격자 상수의 어긋남은 박막 내에 변형을 일으킨다. 그에 따른 변형력은 박막 두께의 증가와 함께 틈이나 미세 틈을 유발한다. 외부 성장법 결정 성장은 증착 ... 씩 1000{DEGC에서 1h. 5h, 10h시간동안 각각 실시했다.이렇게 MOD법으로 증착하고 열처리한 시편은 CeO{`_{ 2 }박막의 표면 morphology와 성장 ... 는 c-축으로 에피텍시하게 잘 성장되었음을 뜻한다. 하지만 여기에서는 강한 CeO{`_{ 2 }(200) peak는 보여 지지 않고 있다. 따라서, 에피텍셜한 YBCO 박막을 증착하기

논문 | 20페이지 | 3,000원 | 등록일 2004.12.01

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나노입자 제조방법

서는 각각의 공정의 특징을 개괄적으로 살펴보고 이들의 장단점에 대해 살펴보고자 한다.1) 증발-응축법에 의한 나노입자 제조법통상의 진공 증착과 달리 진공 배기한 후 용기내의 압력 ... 다. 저항가열법은 실험실규모의 나노입자 제작장치에서 1회의 증발로 수십∼수백 mg의 나노입자밖에 제조할 수 없지만 플라즈마 가열법에서는 평균 입경 20∼30nm의 Ni 등의 나노분말 ... 세라믹 박막 형성 공정을 응용한 것으로 1982년 W. R. Cannon에 의해 시도되었다. 가스와 고에너지/고밀도 레이저에 의해 형성된 플라즈마 내에 precursor/car

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.31

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초전도체의 연구개발 현황 및 종류

IBM연구소에서 레 이저 증착법으로 박막을 제작한 것 외에는 아직 거의 이루어지지 않고 있다. 이외에도 상온에 서 초전도성을 나타내는 물질을 찾기 위한 연구가 계속되고 있 ... 넓은 면적 의 박막을 양산하기 위해서 유기금속화학증착법(MOCVD){ MOCVD : Metal Organic Chemical Vapor Deposition이 꾸준히 연구되고 있 ... 되고 일부 Tl-Ba-Ca-Cu-O 도 박막재료로 이용되고 있다. 박막제작에서 현재 가장 많이 쓰이는 방법은 교류스퍼터링과 고출력 펄스 레이저를 이용한 레이저 증착방법이다. 또 넓은 면적

리포트 | 11페이지 | 2,500원 | 등록일 2000.10.08

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[과학기술] 전자현미경발달사

의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있다. 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925 ... -덩어리로부터, 증착응용- 결함관찰, 상변태장비개발-100kV가속전압, 명암 대비 이론1951: Mollenstedt, 중간 가속장치 개발, 가속 전압 2배로 향상1955 ... 와 Zemlin은 면간 거리가 1.4Å인 금(Au)의 격자면을 구분할 수 있었다. HREM법으로는 격자의 배열과 원자 크기의 결함을 직접 관찰 할 수 있어서 반도체 재료와 다층 박막의 경계면

리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2003.07.25 | 수정일 2015.09.08

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HF-CVD법에 의한 CNT의 증착 및 특성

)142-4-2. Hot Filament 화학기상증착법(HF-CVD)152-4-3. 수소원자의 역할162-5. 스퍼터링(Sputtering)173. 실험 방법 및 분석183-1 ... 학사학위논문HF-CVD法에 의한 카본나노튜브(CNT) 의 증착 및 특성 연구Properties and Deposition of Carbon Nano-Tube(CNT)by Hot ... . CNT의 응용 92-3. 탄소나노튜브의 성장122-3-1. Tip & Base growth122-4. 탄소나노튜브의 합성방법142-4-1. 플라즈마 화학기상증착법(PE-CVD

논문 | 6페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.05.10

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Al doped ZnO 도핑농도에 따른 세라믹의 특성

]현재 가장 널리 사용되고 있는 투명 전도막 재료는 ITO(Indium tin oxide) 박막으로 광학적 성질과 전기적 성질이 매우 우수하여 가장 선호하는 재료로 사용되고 있 ... 다. 그러나 원료물질인 In의 높은 비용, 제한된 인듐의 자원, 부서지기 쉽고, 인듐 주석 산화물 레이어의 휨성이 부족하며, 레이어 증착에 필요한 높은 진공 등의 문제점을 가지고 있 ... 하였다.2. 실험 방법1) Al doped ZnO의 세라믹제조와 소결온도에 따른 물성 측정ZnO 와 Al이 도핑 된 ZnO 세라믹의 분말은 ZnO(99%)와 Al2O3(99%)이고 분말

논문 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2017.08.24

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