"박막두께측정"의 검색결과 입니다.

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hall effect 엘립소미터 4point probe 면저항 신소재프로젝트1 전자기파의 특성 alpha step 스핀코팅 신소재 프로젝트3

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"박막두께측정" 검색결과 1,001-1,020 / 1,164건

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[공학]MOS 성형 과정에서 spike, hillock 발생

), 텅스텐등의 장벽박막을 증착시키는 방법이 있다. 또한 400℃에서 Thermal Anealing 은 실리콘과 알루미늄 접촉면 부근에 Si-Al alloy를 형성시킬수 있는데 이 또한 ... 면서 더 짧은 채널길이의 소자를 유지하기 위해서는 벌크 도핑농도를 증가시켜야 하는데, 이로 인해 게이트 산화막의 두께도 줄어들어야 한다. 감소된 채널길이와 게이트 산화막 두께 그리고 ... )라고 한다. 두가지 Hot Carrier는 게이트 산화막을 가로질러 캐리어 흐름의 형태로 결합되며 이들 중 대부분은 게이트 산화막을 통해 가속화 되고 게이트 전류로서 측정

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.10.27 | 수정일 2015.02.04

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[화학공학] FT-IR 분광법을 이용한 고체박막의 특성분석

, 물질의 구조, 전하농도, 박막층 두께 등을 조사하는 기술을 습득한다.2. 이론적외선 분광법은 물질과 적외선 사이의 에너지 교환 현상을 이용한 측정법이다. 특정 물질의 적외선 흡수 ... FT-IR 분광법을 이용한 고체박막의 특성분석Characterization of Solid Thin Films by FT-IR Spectroscopy1. 실험목적광학적 분석기법 ... 까지의 파장범위를 포함한다 [표 1. 참조]. 이때 파수()는 cm-1로 표시하며, cm로 표시되는 파장(λ)의 역수로 계산된다. 즉,;적외선의 흡수 스펙트럼을 측정하는 장치는 빛

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.10.26

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[반도체]ic 칩의 제조공정과 반도체산업의 미래와 현재

집적 회로라고도 한다. 소형·경량이고 집적도와 신뢰도가 높으며, 대량 생산이 가능하여 가격이 저렴하다)로 구분할 수 있으며, 혼성은 박막(薄膜:thin film) 혼성집적회로 ... 와 후막(厚膜:thick film) 혼성집적회로로 나눈다.현재 집적회로의 주축을 이루고 있는 것은 모놀리식 집적회로이며 두께 1 mm, 한 변이 5 mm 정도인 반도체(실리콘)의 얇 ... n수동회로(受動回路) 부품을 합쳐서 전자회로를 구성시킨 것이며 막집적회로는 절연성기판 위에 박막 또는 후막의 형태로 여러 개의 회로소자(주로 수동회로소자)를 형성하고, 이들 소자

리포트 | 17페이지 | 5,000원 | 등록일 2006.03.11

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콘크리트용 양생제의 활용과 성능

의 피막물의 시공을 할 수 있는 재료 이어야 한다.그러나 피막 형성제는 박막의 두께가 매우 얇아 표면에 대한 피막의 형성 정도를 육안으로 확인하기 매우 어렵고 측정할 수 없 ... 으므로 최초의 시료에 대한 정보로써 점도, 비중을 측정하여 두어 반입된 재료의 성능을 확인하는 것이 필요하다.(2) 품질관리 사항1) 점도(viscosity) : 고분자(polymer

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.07

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[반도체공정] 산화막 성장기구( Oxidation growth mechanism )

) = [(D 성장된 산화막의 두께를 산화막 두게 측정 장비를 이용하여 측정한다.⑦ 측정된 산화막 두께와 이론적인 산화막 두께를 비교해 보고 습식 산화에 대하여 생각해본다.4. 실 험 결 ... 산화막 성장기구( Oxidation growth mechanism )1. 실 험 목 적반도체 소자 및 박막을 응용한 기능성 소자의 제작의 기본이 되는 다양한 산화물 박막의 제작 ... )○ Dry oxidation : 2nd Pad Oxidation , 2nd Gate Oxidation 등 두께가 얇고 균질한 산화막의 성장시 사용.(4) 열산화막의 성질[ 열산화막

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.13

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[재료공학실험] 웨이퍼산화

의 Furnace에서 1000도로 2시간 oxidation 시킨다.3. oxidation 시킨 wafer를 육안 검사법으로 두께를 측정한다.■ 조사내용【1】 층의 두께 측정⑴ 색 (c ... 을 일으켜 색을 나타나게 된다.산화막의 색은 세가지 요인의 함수이다. 첫째는 투명막의 특성인 굴절률이다. 둘째는 측정하는 각도다. (웨이퍼를 회전시키면 색이 변한다.) 셋째는 막의 두께이 ... 한다. 백색광에서 웨이퍼를 보았을 때 웨이퍼 면과 산화막 사이의 경계 영역에 프린지가 보인다. 두께 측정은 우선 오더를 결정해야 가능하다. 색의 반복 특성을 보는 것은 간단

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.12.09

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[재료실험] 진공증착(evaporation)

1. 실험 목적:진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시켜 기판의 전기전도도를 측정한다.2. 실험 ... 이론:진공증착 박막방법의 장점은(1) 장치전체의 구성이 비교적 간단하다.(2) 매우 많은 물질에 쉽게 적용할 수 있다.(3) 박막이 될 수 있는 메카니즘이 비교적 단순하기 때문 ... 에 박막형성에 있어서 핵생성이나 성장이론과의 대응을 하기 쉽다.(4) 박막을 만들 때, 열적, 전기적 번잡함이 작기 때문에 박막형성시의 막의 물성연구(insitu

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.11.26

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[전자재료실험]MOS캐패시터

1. 실험 목표MOS를 직접 제작하고 공정을 이해하고, Dielectric 재료와 두께에 따른 MOS 특성 및 구동원리를 이해한다.2. 이론적 배경그림 1에 나타낸 바와 같이 p ... ) 공정CVD법은 현재 상업적으로 이용되는 박막제조 기술 중 가장 많이 활용되고 있는 기술이며, 특히 IC의 생산공정에 있어서는 매우 중요한 단위공정이다. 그 이유는 화학기상증착 ... 이 높아서 제조하기 어려운 재료를 융점보다 낮은 온도에서 용이하게 제조할 수 있고, 둘째 증착되는 박막의 순도가 높으며, 셋째 대량 생산이 가능하여 비용이 PVD법에 비해 적게 들

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.06.20

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[공업기기]공업기기 TEM

결간격, 결정구조 측정,박막, 석출물이나 이차상과 같은 미소 영역의 결정 구조, 격자 면 간격 측정으로 상수, 기지와의 결정 방위 관계 분석,결정의 모양, 쌍정, 초격자 규칙 ... 상수, 격자면 간격, 결정구조 측정,박막, 석출물이나 이차상과 같은 미소 영역의 결정 구조, 격자 면 간격 측정으로 상수, 기지와의 결정 방위 관계 분석,결정의 모양, 쌍정, 초 ... 성, 격자 상수, 격자면 간격, 결정구조 측정,박막, 석출물이나 이차상과 같은 미소 영역의 결정 구조, 격자 면 간격 측정으로 상수, 기지와의 결정 방위 관계 분석,결정의 모양, 쌍정

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.08

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MLCC 유전특성 분석

은 최근 수년 급격히 진행되어 같은 크기로서 취득용량은 약 2∼3배나 되었다. 최근에는 IC, LSI의 진보와 함께 적층형 콘덴서에 요구되는 정격전압은 저하하는 경향이 있다. 박막 ... 는 다음식으로 나타낼수 있다.여기서 εo 는 진공중의 유전율, ε는 유전체의 고유전율, A는 내부전극의 대향면적, t는유전체 두께, 그리고 n은 MLCC의 적층수를 나타낸다. 따라서 ... meter로 주파수를 10Hz, 20Hz, 30Hz, 40Hz, 50Hz, 60Hz, 100Hz 에 맞추고C값과 D값을 측정한다.3) 비커에 담긴 Silicon Oil

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.17

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x-ray 에 의한 구조분석 종류 및 원리

에 SAXS의 응 용범위는 매우 넓으며, 더 나아가 최근 대두되고 있는 용액 상에서의 고분자 또는 단백질 실험을 위한 액상 소각 산란 기법과 수십에서 수백 nm 두께를 갖는 박막 시료 ... 에서 산란된 X-선은 서로 다른 위상을 가지게 되어 간섭현상이 일어난다. 이러한 간섭현상을 측정함으로서 원자들의 위치에 관한 정보를 정확히 알아내는 것이X-선 회절 연구이다. 또한 ... Fine Structure, 엑세프)XAFS(X-ray Absorption Fine Structure)는 원자간의 결 합으로 구성된 분자나 응집물질의 지역적 원자배열 미세구조를 측정

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.18

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박막의 증착 실험

에 대해 거의 일정하며 전류량과 박막두께가 거의 정비례하므로 조절이 쉽다. RF sputtering에 비해 성막속도가 크며 박막의 균일도가 크다. 높은에너지의 공정이므로 밀착 강도가 높 ... 과 균형을 이루기 때문이다. 이 실험으로 대기압(1기압)은 높이 76cm의 수은주 무게와 같다는 사실이 발견되었으며, 이는 오늘날 진공의 측정 단의에 있어서도 기초적인 개념이 되고 있 ... 인공적으로 도달할 수 있는 최고 진공도는 {10^-12mmHg 정도인데 그래도 1cm 당 3만 5000개 나 되는 기체 분자가 남아 있다고 한다.E. 진공의 측정. Vacuum

리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.09.29

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[공학]Chemical Method에 의한 박막증착 중 Electroplating(전기도금) 을 이용한 박막증착

실험을 해보고, 그 과정과 원리를 이해한다. 그리고 실험의 기본 조건에서 변수를 달리하여 실험 후, 변수에 따른 박막두께 및 질량등의 차이를 비교하여 관찰해본다.Ⅲ. 실험관련 이론 ... Ⅰ. 실험 제목 : Chemical Method에 의한 박막증착 중 ElectroplatingⅡ. 실험 목적 : 화학적 방법에 의한 박막증착 중, 전기도금에 의한 방법으로 증착 ... 에 석출된다.Ag+ + e- → Ag(g)전기분해 전후에 전극의 무게를 달아보면 석출되어 나온 은의 양을 측정할 수 있고, 따라서 전지를 통과한 쿨롱 수를 결정할 수 있다. 1페러

리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.14

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신소재 용어 전기적 기능 도전성

, 절연체는 109 Ωcm 이상인 물질로 구분한다.조셉슨 효과두 초전도체(superconductor)를 박막형의 절연체로 약결합 시킨 조셉슨(Josephson) 소자를 통하여 전류 ... 한다.* 유전율이 높은 물체는 분극이 많이 일어난다. 저장 용량을 의미하는 캐패시턴스, C는 접촉 면적 A가 클수록, 유전체의 두께, t가 얇을수록 커진다. C=εA/t이며, 단위 ... , 절연의 특성이 파괴되는데 걸리는 시간을 측정하는 시험이다. 플라스틱의 내아크성은 폴리에스테르 수지 129sec, 에폭시 수지 20~100sec, 멜라민 수지 120~130sec

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.03.21

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[재료공학실험]hall effect

는 partoltage은(5)가 된다. Hall voltage를 측정하고 magnetic field(B)과 y-방향으로의 크기(박막의 두께) d를 알면 charge의 drift ... 응력은 전압(전위차)으로 나타날 것'이라고 가정하여 전위차를 측정해보게 되었다. 이것이 Hall voltage이고 이로써 Hall effect가 발견되었다.이런 Hall effect ... 는 힘의 방향으로 움직이나 박막, 도선 등 제한된 크기의 물체내에 있는 charge의 경우에는 charge가 물체의 바깥으로 쉽게 나갈 수가 없으므로, 이들 경우

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.03

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[정보디스플레이] Thin Film Transistor

이 VG-VTH보다 클 때 게이트와 드레인을 전기적으로 연결하여 동일한 전압을 인가하여 드레인 전류를 측정한다.그림 4.3.1 비정질 실리콘 박막트랜지스터의전계효과 이동도(mobilg ... , 투사형 TV, HD-TV, View finder, optical computer 등에 이용되고 있다. 수소화된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터는 넓은 면적으로 낮은 기판온도 ... 기판 크기에 의존하는 제조 line과 설비에 따라 그 발전 단계를 구분할 수 있다. 수소화된 비정질 실리콘박막 트랜지스터는 넓은 면적으로 낮은 기판온도에서 제작할 수 있고 제작비

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.28

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[물리] PZT

)을 이용하여 두께 1000Å이하의 얇은 PZT 박막의 domian 구조를 관측하고 거시적인 grain 구조와 미시적인 domain 구조간의 연관성에 관해 관측하고자 한다. 또한 박막 ... 하여 박막의 상부에 전도성 Si tip을 접촉시켜 접촉방식(coontact mode)의 측정법을 이용하여 박막의 topology, smoothness 등의 표면 특성을 측정 ... 한다. 또한 하부전극에 교류전압을 인가하여 이때 PZT 박막에 발생하는 압전 변형을 측정하여 박막의 압전 특성을 측정하고자 한다.2. P Z T. 강유전체와 FRAM이란?강유전체의 정의

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.06.22

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신소재 용어 정리 기계적 기능 강도 경도

, λc(0.8mm 또는 2.5mm)에서 표면의 높낮이를 측정하여, 평균값, Ra과 최대 편차값, Ry으로 μm 단위로 표현한다.* 동박(copper foil)은 전해도금법과 냉간 ... 압연법으로 제조한다. 전해도금법으로 제조하는 경우, 도금 우선방위에 따라, 표면 조도가 커진다. 만약 두께 9μm의 동박을 제조하는데 표면 조도가 3~6μm 라면, 그 제품은 사용 ... plating), 물리증착법(PVD, physical vapor deposition), 화학증착법(CVD, chemical vapor deposition)으로 기판에 박막을 형성 시킨다. 또

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.03.21

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[표면분석] RBS에 대하여

하는데 RBS감도가 어느정도인지 검토하는 방법 RBS의 검출 감도(Nt)탄소기판위에 Au가 있을 경우: 최소 측정한계 :10 12 원자수/cm^2박막의 두께 측정RBS 스펙트럼 분석 ... 방법∆E=[S]t 로 부터 해당원소의 박막두께 t 측정 [S] (에너지 loss factor): 참고문헌의 참조 ∆E : 실험결과로 부터 측정 오차 : 약 5%미만Si 기판위 ... : 소형 van der graff가속기, Tandem형 가속기 등의 발전보급 - 표면오염 분석, 금속과 반도체의 산화층, 불순물 성장도 측정, 박막분석, 표면현상연구, 이온 주입

리포트 | 37페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.07.05

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태양전지 반사방지막 동향 논문! 입니다!

. 그래서 비슷한 굴절률을 가진 Al2O3를 증착시키는 실험을 실시하였다. 제조하기 전에 ASA 프로그램이 반사방지층의 변수인 두께의 적절한 값을 계산하였다. Al2O3 박막 ... 였다. 나는 Anti-reflection coating(이하 ARC) 에 대해 자세히 조사를 하였다. 변수는 굴절률과 두께인 것을 알았고 ARC에 대한 연구는 계속 진행 중인 것을 알 ... 고 하지만 실리콘에 비하여 변환효율이 높다는 점, 내열성이나 내방사선 특성에 우수하다는 점에서 우주용으로서 이용되고 있다.CIS 태양전지의 빛 흡수층은 수 ㎛정도의 두께로 빛을 전기

논문 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2013.06.29

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