발생원리로서 금속표면에 구속되어 있는 이온 전계방출의 경우로서, 흡착(adsorption)된 원자나 이온들이 그대로 전계방출되는 현상을 전계추출(field desorption)이 ... 들 그리고 Oregon Graduate Institude of science and Technology의 Lyn W. Swanson을 포함한 많은 그룹의 사람들은 그들의 이온소스
-wave discharge4. Etching4.1 반도체 공정에서 쓰이는 곳4.2 Isotropic & anisotropic etchinng5. PLASMA ETCHING5.1 ... Laser interferometry and reflectance8. 식각 특성8.1 식각 Profile1.등방성 식각2.비등방성 식각(1) 스퍼터링에 의한 반응 생성물의 탈착(2 ... 충격에 의한 식각이 같이 일어나 비등방 식각의 중요한 mechanism이다.5.3 식각 과정I) Ion and electron formatione + Cl / Cl2 ───→ Cl