건식도금은 CVD(chemical vapor deposition)과 PVD(physical vapor deposition)으루 크게 분류할 수 있다. 건식도금기술은 소재(基板 ... 시키면서 도금하는 방법을 말한다. 따라서 여러 가지 방법이 있다.(저항가열법, 유도가열법, 전자빔 가열법, 플라즈마 빔 가열법, 직류법, 고주파법, 반응성 법, 직류이온화법, 복합법 ... 때문에 특히 배기가스처리에 많은 신경을 써야 한다. 대개 cold trap에 의한 제거. 흡수나 scrabber(가스세정기)등을 통해서 수세 중화 등을 하게 된다.2. PVD