"DC플라즈마"의 검색결과 입니다.

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RIE 스퍼터링 진공증착 pvd magnetron sputtering 플라즈마 원리 evaporator 반도체 공정

"DC플라즈마" 검색결과 421-440 / 536건

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[박막공학]박막공정

로우 방전은 DC 또는 AC(RF systems)에 의해 이루어 짐.물리 기상 증착법: Sputtering 증착법플라즈마 생성 과정 전압이 가해지지 않았을 때 가스는 중립의 원자 상태 ... 법임. 종류 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD) 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD) 대기압 화학 기상 ... inductlasma electron beam guns) 플라즈마를 이용한 전자 방출로 focusing을 임의로 효과적으로 통제할 수 있고 열 전자빔 타입보다 고압에서 사용 가능함.물리

리포트 | 43페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.12.29

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박막의 제조방법

율(sputter yield)사. 플라즈마 보조 PVD(Plasma Assisted PVD)의 분류① DC 과정(가) 다이오드 스퍼터링(Diode Sputtering)(나) 삼극 ... and Hydrolysis 반응④ Carbides 와 Nitrides를 형성하기 위한 반응⑤ CVD의 전조물질6) CVD의 종류① PECVD(plasma enhanced ... -activated CVD , plasma-enhanced CVD, photochemical CVD, laser-induced CVD, and electron-beam assisted CVD

리포트 | 52페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.12.06

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디스플레이 표준화

, 오리온전기)은 지난해 20억불 수익.2.PDP(Plasma Display Panel)플라즈마디스플레이? 전면유리와 배면유리 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne ... AC구동형(간접 방전형)과 DC구동형(직접방전형)? 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하 기, 종래에 FA(공장 자동화)용이나 티 켓자동판매기, 주유유랑계 등에 사용.? 표시장치

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.31

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[열역학]연료전지

분해법(Direct Cracking), 플라즈마 촉매개질법(Plasma Catalytic Reforming), 흡착부과반응개질법(Sorption Enhanced reaction Pro높다. ... 을 원활히 하고 발생된 전력을 유용하게 사용하기 위해서는 여러가지 구성성분들이 필요하다.① 전력 변환기Stack에서 생성된 전력은 직류(DC)이며 전압이 낮고 전류값이 높다. 따라서 먼저 ... DC-DC Booster과정을 통해 전압값을 올리고 이어서 DC-AC Inverter를 통하여 적절한 AC 전력을 생성한다.② 연료 개질기연료전지에서는 이상적으로 순수수소를 연료

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.21

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[화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

면서 Target(Cathode:음극)에 직류 전원을 인가하면(㎠당 1W정도),증착하고자 하는 기판(코팅물)과 Target 사이에 Plasma가 발생한다.이러한 { 플라즈마 ... (plasma): 양성이온 및 음전자가 같은 숫자로 중성입자와 혼합되어 있는 상태로 플라즈마 내에서는 이온-전자 쌍이 지속적으로 생성(이온화) 및 소멸(재결합)하므로 전체계 내에서는 중성이 ... 며, 이온화의 정도는 약 10~4정도로 대부분이 중성 입자로 존재하게 된다.Plasma내에는 고출력 직류전류계에 의해 Ar가스 기체가 양이온으로 이온화 된다. Ar양이온은 직류전류계

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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[공학]미세전자공정, 집적회로 공정 관련 주요정보기지(SITE) 및 Reference

9. Glow-Discharge Plasmas9.1 Electron-Impact Reactions9.2 Plasma Structure9.3 DC Excitation9.3.1 ... Plasmas8.4 Pulsed Lasers8.5 Ion Bombardment8.5.1 Surface effects8.5.2 Subsurface effects8.5.3 Bulk-film ... coupling9.5 Electrodeless Excitation9.5.1 Microwaves9.5.2 Helicons9.5.3 Inductive coils9.6 Plasma

리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.07

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[디스플레이] 유기EL, TFT LCD, PDP 디스플레이

분말로 구성된 분산형 EL과 치밀한 박막으로 구성된 박막형 EL의 2종류로 크게 구분되며, 구동법에 따라 각각 교류(AC)형과 직류(DC)형으로 나누어 진다. 현재 만들어지고 있 ... 은 당시제조 기술로서는 불가능하였으며, 도트 매트릭스 방식의 플라즈마 디스플레이를 실용화하는 단계에는 이르지 못하였다. 이러한 결점은 1964년 일리노이 대학의 Bitzer ... 한 기능도 얻을 수가 있었다. 이 AC형 플라즈마 디스플레이의 발명은 1968년 Illinois대학의 Owens 등에 의한 개발연구로서 실용화되었다.AC형 플라즈마 디스플레이

리포트 | 24페이지 | 3,000원 | 등록일 2004.08.18

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그래픽터미널 PDP LCD CRT OLED

에 의해 영상이나 도형, 문자 등을 구현하는 디스플레이 장치를 브라운관 (Cathode Ray Tube)이라 합니다.? PDP (PLASMA DISPLAY PANEL)PDP는 자외선 ... 방전시 생성되는 자외선에 의한 형광체 발광을 이용하는 평판 디스플레이(Flat Panel Display)의 한 종류입니다. PDP는 인가전압에 따라 AC구동형과 DC구동형으로 분류 ... . PDP (Plasma Display Panel)제품개요- 두 전극 사이에 강한 전압을 걸면 전극 사이에 Gas방전이 생기고, 이때 발생하는 자외선이 형광체에 부딪혀 빛을 내

리포트 | 27페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.04.09

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박막 증착 방법, 종류

이온충격에 의해서 튀어 나온 분자 또는 원자가 (+)극의 기판에 붙어서 박막이 형성되는 것이다.스퍼터링의 종류에는 DC sputtering, RF sputtering, bias ... 의 순도가 높고 균일하다- 증착률이 낮고, 높은 온도가 단점PECVD( Plasma Enhanced CVD )- 0.1 - 5.0 torr, 200 C - 500 C , 50

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.14

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졸업논문 - OLED의 특성

)와 발광형인 LED(Lighting Emitting Diode), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등의 얇고 성능 ... 되는 전압이나 gate 구동에 필요한 각종 analog 전압을 생성한다. Gate 구동 전압은 일반적으로 높은 전압을 사용하므로 DC-DC converter를 사용하는 경우가 많

리포트 | 20페이지 | 8,000원 | 등록일 2007.12.11 | 수정일 2015.01.25

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[광전자] 유기EL(유기LED)

으로 플라즈마 세정기술을 도입하여야 한다.데이터그래프{{{1-A(UV-O3)1-B(UV-O3){{2-A(Plasma)2-B(Plasma)먼저1-A의 그래프와 2-A의 그래프를 비교하면 이 ... 물질여 이물질을 제거한다.4 플라즈마 표면처리 장치에 기판을 넣고 O2 플라즈마를 이용하여 약10분 동안 기판을 세척한다.cf) 플라즈마-전체적으로 중성을 띄고 있으며 부분 ... 않고 전처리 공정으로 습식세정의 도입이 필요하다. 그리고 무기계 성분에 대한 효과가 작으며 적은 농도이지만 O3가스 피폭에 주의하여야 한다.플라즈마세정플라즈마는 이온화된 기체

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.08.23

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TFT-LCD의 공정과 Color Filter

다.(2) Sputtering 공정 (증착공정)Sputtering은 RF power나 DC power에 의해 형성된 plasma 내의 높은 에너지를 갖고 있는 gas ion ... 성이 더욱 커지는 공정이다.(4) Dry etch 공정 (식각공정)진공과 gas, RF power의 3조건하에서 형성되는 gas plasma로부터 만들어진 원자나 자유기(Radical)와 것

리포트 | 24페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.12.05

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[평판 디스플레이, 디스플레이]평판 디스플레이의 동향

형과 DC구동형으로 분류한다.AC형 플라즈마 디스플레이: 전극이 얇은 글라스 성분의 절연체로 피복되어 200KHz 내외의 펄스 전압으로 구동하는 것이다. AC형 구동방식에는 일단 ... 방전한 후에 낮은 방전유지전압을 가하면 방전이 지속되는 메모리방식과 표시해야 할 전극 사이에 전압이 높은 펄스 전압을 인가하여 방전시키는 Refresh 방식이 있다.DC형 플라즈마 ... 등에서 수동구동보다 훨씬 우수한 특성을 나타낸다.PDP1. PDP ( Plasma Display Panel )의 구조PDP( Plasma Display Panel )는 일반

리포트 | 11페이지 | 29,000원 | 등록일 2004.07.08

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스퍼터링

플라즈마(plasma)의 기초가 발표되면서 스퍼터링을 일으키는 기체 방전에 대한 조건들을 이해할 수 있게 되었다. 또한 진공 펌프를 포함한 진공 기술의 발전으로 인해 스퍼터링 ... 은 널리 이용되기 시작하였다.(1). 스퍼터링 과정타겟(cathode) 쪽에 음전압(dc or rf)이 걸리게 되면 타겟에 걸린 전압과 같은 에너지를 갖는 secondary ... 에 또 다시 secondary electron 도 나오게 되는데 이들은 다시금 sputtering gas 를 때려 연쇄적인 반응을 일으켜 플라즈마를 발생시킨다. 그리고 sputter

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.10

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[반도체공정]반도체 기초공정

다.Sputtering스퍼터링에서는 이온을 생성하기 위해 플라즈마를 사용하는데, 플라즈마 내에서 생성된 이온들로 하여금 웨이퍼에 달라붙게 공정으로우선 플라즈마를 생성하기 위해 아르곤(Ar ... 다음 낮은 압력의 스퍼터링 기체, 보통 아르곤을 챔버내로 흘려주고 전극에 전압을 가해주게 되면 아르곤기체(Ar+)를 이온화하게 되고 플레이트 간에 플라즈마가 발생한다. 소스 물질 ... 되어 웨이퍼로 날아가 증착이 되는 원리이다.금속증착에는 DC전원을 절연체의 증착에는 RF를 사용한다고 하는데 금속 증착시에도 RF스퍼터링을 이용한다.3

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.02.02

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[재료공학실험]thermal evaporation system

에서 발광하는 열원(주로 텅스텐)에 의해 전자빔 발생.-플라즈마 전자빔 건(plasma electron beam guns): 플라즈마를 이용한 전자 방출로 focusing을 임의로 효과 ... 에도 사용가능하다. 주요 문제점으로 MOS장치에 방사선 데미지를 줄수있다.-열이온 전자빔 건(thermoionic electron beam guns): AC나 DC의 낮은 전류

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.03

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[공학기술]Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조

(CVD)로 분류될 수 있다. PVD는 CVD에 비해 작업조건이 깨끗하고, 진공상태에서 저항열이나 전자 beam, laser beam 또는 plasma를 이용하여 고체 상태의 물질 ... , EPITAXY, MOCVDSOL-GELDIPPING물리적 박막 형성진공증착법(evaporation)SPUTTERINGDC, RF, DC MAGNETRON, RF ... 의 보충이 용이한 관계로 AC형 플라즈마 디스플레이의 보호막의 형성과 필름 콘덴서, VTR용의 증착 테이프 등의 생산에 응용되고 있다.-> 진공 증착의 개념도◎진공 증착 장치진공

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.02

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[led-ld-lcd-pdp] led-ld-lcd-pdp

율을 나타낸다. 따라서 DFB나 DBR LD는 bragg반사를 발생시키는 격자가 레이져 칩 내부에 존재하는 내부 공진방식이다.□ PDP(Plasma Display Panel)'플라즈마 ... 사이에 전압이 높은 펄스 전압을 인가하여 방전시키는 Refresh 방식이 있다.? DC Plasma Display전극이 방전공간에 노출되어 직류전압으로 구동하는 것이다. DC형 ... 게 되는데, 이 플라즈마 현상을 이용한 것이 플라즈마 디스플레이다.PDP는 LCD와 마찬가지로 차세대 디스플레이 주자로 각광받는 기술이다. LCD보다는 대형화가 용이하다는 장점

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.17

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[방막공학] 박막제조

에 증착될 때 기체상태가 고체상태로 바뀌는 과정이 물리적인 변화에 의한 PVD는 크게 Sputtering과 Evaporation이 있다. Sputtering은 플라즈마를 형성한 다른 ... 하도록 함으로써 운동량 전달에 의해 타겟의 원자가 방출되도록 하는 방법이다.타켓이 전도체일 경우에는 DC 바이어스를 사용할 수 있지만 부도체인 경우에는 공간전하(Space c ... harge)가 축적되는 것을 막기 위해서 RF(13.56MHz)나 Pulsed DC 전원을 이용해서 바이어스를 인가해야 한다. 방출된 원자들은 진공조 안에서 자유롭게 운동하게 되며 기판

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.06.04

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[박막공학] Sputtering

으로 공정 조건이 대기압에서 이루어 지면 APCVD라 하고, b) 낮은 압력에서 이루어 지면 LPCVD라 한다. c) 또, 플라즈마가 개입되는 경우 PECVD라 하여, 낮은 압력 ... 을 시키는 방법이다. 종류에는 Thermal and E-Beam Evaporation, DC-diode Sputtering, RF Sputtering, Trided Sputtering ... 에서는 진공 증착과 마찬가지로 증착원의 교환이 필요하게 된다. 생성된 증착 입자의 이온화는 증착원과 기판 사이에 들든 비활성 가스, 반응성 가스 플라즈마 또는 전자빔을 이용한다.이온

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.12.22

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