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"Laser direct etching" 검색결과 21-22 / 22건

[공학]DRY ETCHING

목차I. DRY ETCHING1. 개요2. Plasma란?2.1 Plasma란?2.2 Plasma 변수2.3 Plasma의 분류3. 저온 PLASMA3.1 저온 plasma 발생 ... -wave discharge4. Etching4.1 반도체 공정에서 쓰이는 곳4.2 Isotropic & anisotropic etchinng5. PLASMA ETCHING5.1 ... Laser interferometry and reflectance8. 식각 특성8.1 식각 Profile1.등방성 식각2.비등방성 식각(1) 스퍼터링에 의한 반응 생성물의 탈착(2

리포트 | 65페이지 | 1,000원 | 등록일 2000.09.15

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[플라즈마물리] 글로우 방전(Glow Discharge) 이론

, 형광, 등을 포함한 많은 분야의 분석 분광학에 폭 넓게 응용 되었다.더욱 최근의 응용분야에는 laser - enhanced ionization 과 resonance ... measurement of up to 10 elements(C) Vacuum system Two-stage direct drive rotary pumps(D) Hardware/ software ... 영향을 끼친 Laser 도 GDS의 응용의 결과이다. Paschen 은 Hollow cathode Discharge(HCD)의 개발로 저기압하에서의 glow방전 장치에 혁명적인

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.04.23

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